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灵活型CL光谱仪 Flex-CLUE

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  • 灵活型CL光谱仪 Flex-CLUE
  • 2026年01月07日
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    仪器简介:

    电子束入射到样品上,即可用光学方法接收并分析阴极发光(CL),从而提供样品详细的物理特性。它是一种无损的分析方法,结合电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果,是纳米结构和体材料的独特分析工具。

    Flex-CLUE是一款高性能的CL分析仪器,适用于广泛的应用领域。它基于光纤传输,是适用于有限空间的集成化系统。

    产品细节图片1

    原理图

    主要特点:
    ● 光纤耦合
    高效CL信号收集
    扫描成像、线扫描、点测量
    多种光栅选项
    多种焦长光谱仪选项:140mm-320mm
    光谱范围:200nm-1000nm或400nm-1700nm


    重点应用领域:

    阴极发光光谱仪(CL)是用来表征材料中的缺陷,元素和杂质追踪的强大分析工具,广泛适用于各个应用领域。

    1、材料科学

    半导体和光电材料
    介电/陶瓷
    氧化物膜
    玻璃

    2、矿物、地质
    碳酸岩
    晶体
    金刚石
    锆石、方解石、白云石

    3、公安
    4、生命科学


    CL光谱及成像:

    ■CL光谱:使用CL测量光谱时,可在电镜下观察并选择待测样品区域。 ■快速CL成像:将扫描电子束与您的光谱仪同步,提供快速成像方案。使用HCLUE系统测量的GaN样品,测量中使用了超快SWIFTTM成像模式。
    产品细节图片2

    矿物样品中的白云石和磷酸钙。测量使用Flex-CLUE系统,配备iHR320光谱仪和开放电极式CCD探测器。感谢Prof A. Jambon, UPMC France提供数据

    产品细节图片3
    左图:使用伪彩色显示350nm-450nm之间发射光谱区。figure 1, Hyperspectral CL mapping
    中图:电镜下的样品图像。figure 2, SE image
    右图:对应的光谱,其中不同色彩区域与左图中显示的颜色对应。figure 3, CL spectral (RGB)

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