外形测定仪

、线粗糙度、面粗糙度等，并计算关键部位的面积和体积等参数。 该仪器采用白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台阶高度，给MEMS、半导体材料、太阳能电池、膜厚、光学元件