JEM-2010透射电镜操作规程

一、主机室环境温度和湿度的控制，温度在15～25℃，湿度<70%。

二、主机24小时运行，做实验前先检查真空情况，要求主机镜筒真空高于2×10-5Pa，并且高压指示灯（绿灯）亮后，方可加高压。另外打开氮气阀，供主机气阀用。

三、加高压必须按如下程序进行，即20→100KV为2min，等待3 min，100→160KV为6min，等待5min，160→180KV为8min，等待5min，180→200KV为15min，等待5min。

四、将液氮加入冷井（小心烫伤）

五、根据实验要求选定试样台（单倾或双倾），将观察试样小心装上试样台。插入试样台前检查主机工作参数显示屏上试样台的参数条件，选定参数后，插入试样台进行预抽真空，等待绿灯亮后过15min，完全插入试样台，再过2min后加灯丝电流。

六、试样观察分析

1、1～5合轴；

2、小心移动试样台，观察分析试样；

3、根据要求选择、调整聚光镜、物镜和选区的光栏；

4、聚焦、拍照，

5、在高倍条件下需进行电压中心和像散调整。

七、试样观察完毕后，将放大倍数设定在40K，束流聚焦在观察屏中心，关掉灯丝电流，复位试样台至“0”，然后小心拉出试样台。

八、实验完毕后，先退下高压至20KV（200→20KV为2min），然后关掉高压。

九、置ACD模式，将冷井中剩余的液氮加热。

十、离开实验室前，认真检查空调和除湿机的运行情况。

十一、维护保养

1、检查高压箱、电子枪的SF6气压（一星期一次）；

2、检查机械泵的油面和清洁度（两星期一次）；

3、检查冷却水箱液面高度和清洁度（一星期一次）；

4、空气压缩机放水（一星期一次）；

5、空调过滤网清洗（每月一次）。