技术参数 LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间:2~10秒
测量原理:非接触、共聚焦
X/Y方向:平台移动范围200mmX200mm,马达驱动,最大移动速度40 mm/s,X/Y方向分辨率:0.3μm
Z方向测量范围:500μm,Z方向分辨率:1nm
物镜:10X、20X、50X、100X(可选)
离轴摄像头(10X),最大视野8 x 6 mm2(选配)
计算机:高性能计算机控制系统,功能强大且附带全面解决方案的自动化软件
工作电源:100-240V, 50-60Hz,input: 550 VA
材质:钢铁、橡胶、大理石
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)