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SEMI F57认证

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  • 苏州
  • 2025年07月26日
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      统标检测

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      SEMI F57认证

    SEMI F57 是半导体行业聚合物材料及其组件系统,从材料选择、生产过程、产品结构设计等方方面面进行规范和建议的文件,主要用于超纯水和液态化学品输送系统或者组件的评价。
    半导体先进制程要求工艺使用的超纯水,超纯化学品的纯度越来越高,污染物水平越来越低,用于超纯水,超纯化学品运输和储藏的系统和部件不能带入污染。虽然在超纯水与化学品的质量都有相对应的标准与规范,大部分都是末端标准,对其各个组件的制造商来说,是无法直接应用的。目前在SEMI系列规范中,SEMI F57是直接从材料选择、生产过程、产品结构设计等方面进行规范和建议的文件,让超纯水和湿化学品输送系统材料的适用性评估有所参考依据。

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