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LED显微曝光系统

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  • ¥1.99
  • ARMS
  • UTA系列
  • 2025年07月15日
    • 详细信息
    • 文献和实验
    • 技术资料
    显微镜LED 曝光系统 UTA 系列
    介绍:
    1)显微镜 LED曝光系统 UTA系列,为不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光设备。
    2)使用金相显微镜和 LED 光源 DLP 光机,即可在涂布光阻的基板上进行数个微米 分辨率的曝光。
    3)Pattern 形状可以使用计算机绘图自由制作。
    4)可在一般环境操作,样品外观及尺寸限制小,价格比一般电子束曝光机更便宜、方便性更高,可以大幅降低研发成本。

    特色:
    使用显微镜和 DLP 组合之曝光系统,可比既有系统拥有更具竞争性之价格。
    软件操作简便,可以自由绘制曝光Pattern
    透过物镜倍率选择,调整曝光范围大小与分辨率。
    可以制造微米等级尺寸的 Pattern
     
    使用案例:
    ü形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量测用试料之电极。
    üMo 原石取出薄片,形成原石特性评估的电极。

     

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