KYKY-1000B型扫描电镜操作规程

一、开机

1、开启主机稳压电源和空气压缩机。

2、打开冷却水龙头。

3、打开电镜主机真空电源和STANDBY钮。待真空系统自动运行20分钟后，关闭STANDBY钮，仪器自动抽真空至指示灯由红变绿，真空表指示达到规定区域。

4、打开电镜主机控制电源。

二、样品安装

1、关闭灯丝电流，关闭高压，推入镜筒V1阀，打开镜筒放气阀。

2、待镜筒完全放气后拉出样品架，松开样品台固定锣丝，更换制备好的样品台，调节样品台倾斜角和工作距离，推入样品架。

3、关闭镜筒放气阀，仪器自动抽真空至工作状态（数分钟）。

三、扫描图像观察

1、拉出镜筒V1阀，打开高压（选择10～30kV），待束流数值稳定，缓慢转动灯丝旋钮到灯丝电流饱和位置，扫描图像显示。

2、电子束光斑尺寸选择5～7，亮度和反差调至适中。

3、在TV扫描模式下移动样品，选择合适的观察视野，在选区扫描模式下进行聚焦，在中慢扫描模式下观察图像。

四、合轴和消像散

1、用灯丝合轴钮对中电子枪灯丝至最亮。

2、对中物镜光栏至变焦时图像同心转动。

3、在高倍下用自动或手动消像散器进行消像散操作。

五、照相和电脑储存图像

1、安装120黑白胶卷，键盘输入样品名称等，在照相模式下拍照。

2、用WD-5型扫描电镜联机图象系统记录图像，设立相应文件夹进行图像储存，用U盘或光盘拷贝。

六、关机

1、关闭灯丝电流和高压。

2、逆时针调小反差和亮度旋钮，关闭电镜主机控制电源。

3、手动关闭扩散泵加热开关，待冷却水继续流动15分钟后，依次关闭主机稳压电源、空气压缩机和冷却水。

4、在记录本上记录使用情况。