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nGuage便携式原子力显微镜
ICSPI通过整合机电一体化系统,将传统AFM集成到 一个CMOS芯片上,设计生产出世界首款单芯片动态 原子力显微镜(Single-Chip Dynamic Atomic Force Microscope)nGauge:更小、更快、更强!nGauge集成化原子力显微镜功能强大,操作简便, 环境适应性极强;具有卓越的振动免疫性,更少的漂 移,极具性价比。
集成热压阻共振悬臂梁,尖端可变换,成像时间 少于1分钟(无需激光对准);热距离传感器可在数秒内自动化完成针尖靠近;热电MEMS驱动器高精移动悬臂针尖,具有低漂 移,适应长时成像实验;系统高度集成小巧,具有极强的振动免疫性,可 在任意平面上直接测量,无需隔震;氧化铝针尖具有超长使用寿命,可连续成像超过 10000张。
nGauge应用方向
nGuage AFM参数
最大扫描范围(XYZ)
15umx15umx10um
XY扫描分辨率
<0.5nm
XYZ驱动方式
电热法
传感器
压阻
动态RMS噪声
<1nm
成像模式
间断接触,动态AFM
扫描速度
>8lines/s
硬件参数
系统尺寸
70mmx90mmx75mm
载物台尺寸(XY)
70mmx43mm
Z轴行程
20mm
驱动方式
步进电机
系统重量
450g
隔震装置
无需额外隔震装置
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