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- 2025年07月15日
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IT500
JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新机型。 从设定视野到生成报告，用于分析的软件整合于一体，加快了作业速度！是一款无缝操作，使用更加方便的扫描电子显微镜
JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新机型。
从设定视野到生成报告，用于分析的软件整合于一体，加快了作业速度！是一款无缝操作，使用更加方便的扫描电子显微镜。
扫描电子显微镜JSM-IT500 InTouchScope™的特点及功能介绍：
3个关键点 使日常分析更迅速！更简便！
①关键点1 Zeromag
从样品座图形和CCD图像上可以寻找视野和指定分析位置。寻找视野非常轻松， 指定多视野连续分析的位置也很容易。
②关键点2 实时分析 (仅限于A/LA)
在图像观察过程中，进行EDS分析。
EDS谱图显示在观察窗口中， 如果给感兴趣的元素加上alert ，会更容易发现。
③关键点3 数据集中管理软件
数据的查看、再分析以及从SEM图像到EDS分析的全部数据报告可以一键生成。用数据管理图标或者从测试结束的数据列表中启动数据管理窗口并选择数据，一键就能生成报告。
关键点1 Zeromag ～将大视野光学CCD图像和SEM图像完美结合～
直到高倍率观察的顺利操作！
光学CCD图像和SEM图像的完美结合和无缝操作使工作效率大大提高
利用Zeromag能简便自动地进行大区域观察和EDS分析
利用Zeromag设置蒙太奇
蒙太奇结果 4×4 （左：背散射电子成份像 右：Ca元素面分布图）
样品：混凝土 加速电压：15kV 高真空模式 拍摄区域：约4mm×3mm
利用Zeromag很容易设定大面积的蒙太奇区域，有利于成像和观察。蒙太奇功能在断裂分析和大区域中识别异物等从大面积区域上获取详细信息时非常有效。
关键点2 实时分析～SEM和EDS一体化集成～
利用Live Analysis功能，可在观察窗口中进行被观察区域的EDS分析。可以容易地找到自己感兴趣的元素，还能发现意料之外的元素。
①显示存在于测试区域中的主元素。能指定元素并显示“Alert”。
②会显示分析区域的特征X射线谱图和自动定性分析结果。
③一键点击就可以在电镜操作界面和详细分析显示界面间切换。
关键点3 数据集中管理软件SMILE VIEW™ Lab～无缝创建报告〜
SMILE VIEW™ Lab是能集中管理与样品台位置联动的CCD图像、SEM图像、EDS分析结果等数据并快速生成报告的数据管理器。查看以前获得的数据、重新分析，生成报告等都能简便地进行。
①显示各个视野的名称。
②能根据样品名、创建日期和数据类型等搜索数据。
③在样品座图形或CCD图像上显示各个视野的位置。
④会列表显示被选区域的元素图、谱图等的数据和定量分析结果等。
主要技术指标
| 分辨率 高真空模式 | 3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV) |
| 低真空模式*1 | 4.0 nm (30 kV BED) |
| 图像倍率 | ×5～×300,000 （以128 mm × 96 mm 作为显示尺寸规定放大倍率） |
| 显示倍率 | ×14～×839,724 显示器上的图像倍率（以358 mm × 269 mm 作为显示尺寸规定放大倍率） |
| 电子枪 | 钨灯丝 电子枪完全自动合轴 |
| 加速电压 | 0.3kV～30kV |
| 低真空压力设定范围※1 | 10～650Pa |
| 物镜光阑 | ３档 带有ＸＹ微调功能 |
| 自动功能 | 灯丝调整、电子枪合轴调整，聚焦、像散、衬度/亮度调整 |
| 最大样品尺寸 | 200 mm直径×75 mm高度 200 mm直径×80 mm高度※选配件 32 mm直径×90 mm高度 ※选配件 |
| 样品台 | 大型全对中式 X：125 mm Y：100 mm Z：80 mm 倾斜：－10～90° 旋转：360° |
| 图像无缝拼接功能 | 标配 |
| 显示测试位置座标 | 直径203 mm |
| 标准菜谱 | 有（包括EDS条件 ※2） |
| 图像模式 | 二次电子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、阴影像*1等 |
| 获取图像的像素数 | 640x480 1,280x960 2,560x1920 5,120x3,840 |
| OS | Microsoft®Windows®10 64bit |
| 显示器 | 23寸触摸屏 |
| EDS 功能*2 | 谱图分析、定性分析/定量分析、线分析（水平线分析、任意方向线分析）元素面分布、电子束追踪等 |
| 测长功能 | 有（两点间距离、平行线间距离、角度、直径等） |
| 数据管理功能 | SMILE VIEW™ Lab |
| 生成报告功能 | SMILE VIEW™ Lab |
| 语言切换 | 可以在UI 上（日语/ 英语） |
| 抽真空系统 | 完全自动 TMP：1 台、RP：1台或2台※1 |
主要选配件
背散射电子检测器（BED) ※1
低真空二次电子检测器（LSED)能谱仪(EDS)※2
波谱仪（WDS）
电子背散射衍射检测器(EBSD)
加载互锁真空室（预抽室）
样品台导航系统（SNS）
样品室观察系统(CS)
操作面板
3D测量软件操作台
※1 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。
※2 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。
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文献和实验扫描电子显微镜最基本的成像功能是二次电子成像。它主要反映样品表面的立体形貌。由于样品的高低参差、凹凸不平，电子束照射到样品上，不同点的作用角不同，因此造成激发的二次电子数不同；再由于入射方向的不同，二次电子向空间散射的角度和方向也不同，因此在样品凸出部分和面向检测器方向的二次电子就多些，而样品凹处和背向检测器方向的二次电子就少一些；总之，样品的高低、形状、位置、方向等这些与表面形貌密切相关的性质，变成了不同强度的二次电子信息。电子束逐点扫描产生不同数量的二次电子，依次在荧光屏上显示出亮暗不同
扫描电子显微镜扫描电子显微镜（scanning electron microscope，SEM）于20世纪60年代问世，用来观察标本的表面结构。其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子，标本在固定
一、扫描电子显微镜的工作原理 扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5～35keV 的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其它物理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次
