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- 2025年07月16日
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***
一、用途：
GM-400E大平台硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头.是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.
二、技术参数
1.目镜
| 类 别
|
放大倍数
|
视场(mm)
|
| 大视野目镜
|
10X
|
φ18
|
2.物镜
| 类 型
|
放大倍数
|
数值孔径NA
|
工作距离（mm）
|
| 平场消色差物镜
|
5X
|
0.12
|
18.3
|
| 10X
|
0.25
|
8.9
|
|
| 20X
|
0.40
|
8.7
|
|
| 40X
|
0.60
|
3.7
|
|
| 80X
|
0.80
|
0.96
|
3.光学放大倍数：50X -- 800X 系统参考放大倍数：50X-5000X
4.滤色片组：黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台：(配有快速移动装置)
尺寸：250*230mm 移动范围：153*153mm[标配]
尺寸：274*274mm 移动范围：203*203mm[选配]
7.粗微同轴调焦机构，微动手轮格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W卤素灯，亮度可调
9.防霉：特有的防霉系统
10.成像系统:500万高像素的数字摄像头
三、系统组成
大平台硅片检测显微镜(GM-400E): 1.显微镜 2.适配镜 3、500万高像素摄像头
4、计算机(选配)
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜（GM-400E)：50--40000倍（17寸显示器为例）
五、选购件
1.测量软件 2.目镜： 20X 10X(带刻度)
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