EBSD最常用的晶体标样

以背散射电子衍射图样(EBSP)为基础的晶体学取向成像电子显微术，简称EBSD。它使扫描电镜和电子探针能获取试样各部分不同的晶体取向等有关晶体结构的信息，可显示试样晶粒组织、晶界和裂纹等，也可用于测定织构和晶体取向。这是一个非常有用的独特功能，受到许多研究人员的青睐，目前，我国已有上百台之多。但一直缺少定向精确的能产生高质量的EBSD花样的标样用于分析。根据新近出版的国际标准“Microbeam analysis-Guidelines for orientation measurement using electron backscatter diffraction”规定，硅单晶是一个最佳的选择。

该标样的大小为8mmX8mm。