实验室通用性高精度匀胶机WS-650MZ-23B

匀胶机(英文名：Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍： 匀胶机(英文名：Spin Coater)
行业俗称:匀胶台,甩胶机,涂胶机,镀膜机,涂层机

品牌 LAURELL
型号 WS-650-23N WS-650-8N WS-650-15N

产品概述:
WS650型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆.
匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是WS650型均匀胶机的特点.
该机在这方面采取了许多措施:
(一)该设备采用美国先进技术.
(二)转速在12000转/分范围内非常稳定.
(三)本匀胶机采用PLC控制，速度无极调节.在启动之后,一般工艺先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转.步骤转速及相应的时间分别可调.
(四)本匀胶机采用直流驱动马达，超过10年的使用历史
(五)"吸片"采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率.
(六)智能型调节匀胶时间,倒计时数字显示
(七)在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均匀,保证通过调节转速调节涂覆厚度.
(八)匀胶机配真空泵使用.

性能指标：
高性能马达驱动
旋转控制
Mz型高精度旋涂用马达
转速范围:50~12000RPM （注 50RPM是最小稳定转速）
最大加速度:13000RPM/S;
转速误差:＜±0.5RPM @8000RPM NIST标准认证；
匀胶均匀性:＜1% @6 inch Wafer
电源电压：220V/ 50Hz
电机功率：200W
适用：Φ10-Φ150mm硅片及其它材料等匀胶.
体积小,重量轻,操作简便


客户参考:香港理工大学,香港科技大学,香港城市大学,北京大学,清华大学复旦大学,东南大学,北京工业大学,江苏工业大学,上海大学,北京科技大学，电子科技大学 ，中国地质大学,厦门大学,天津大学，贵州大学，西南师范大学,香港电讯学院,陕西师范大学,北京石油化工学院,重庆西南大学,中国地质大学，北京理工大学,哈尔滨工业大学,哈尔滨工程大学,武汉大学,西安交通大学,四川大学,四川师范大学,同济大学,天津大学,西南交通大学,南京大学，南京工业大学，华中科技大学，河南大学，郑州大学等。
中国科学院上海硅酸盐研究所，华为集团、TCL集团等著名高校及半导体微电子行业.。
主要市场
中国、香港、韩国 、新加坡、美国 等国家
产品用途： WS650型匀胶机适合半导体硅片,晶片,基片,导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆.
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