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全自动化&高集成度&可视化光斑
一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
1主要特点
1. 液晶调制技术，无机械转动部件，重复性，信噪比高
2. 专利技术成像系技术，所有样品均可成像，对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.
3. 反射式微光斑，覆盖全谱段，利于非均匀样品图案化样品测试
4. 全自动集成度高，安装维护简便
5. 一键式操作软件，快速简单
6. 自动MAPPING扫描，分析样品镀膜均匀性
2技术参数
1. 光谱范围：450-1000 nm
2. 多种微光斑自动选择
3. 专利光斑可视技术，可观测任何样品表面
4. 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探测器
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上海市天山西路1068号联强国际广场Ａ栋１层Ｄ单元
实验室仪器 / 设备
生产厂商
2020.12.28-2021.01.31
2020.12.28-2021.01.31
2020.12.10-2025.12.31
