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一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE

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  • HORIBA Jobin Yvon
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  • 2026年01月06日
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    全自动化&高集成度&可视化光斑

    一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

    1
    主要特点

    1. 液晶调制技术,无机械转动部件,重复性,信噪比高

    2. 专利技术成像系技术,所有样品均可成像,对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.

    3. 反射式微光斑,覆盖全谱段,利于非均匀样品图案化样品测试

    4. 全自动集成度高,安装维护简便

    5. 一键式操作软件,快速简单

    6. 自动MAPPING扫描,分析样品镀膜均匀性

    2
    技术参数

    1. 光谱范围:450-1000 nm

    2. 多种微光斑自动选择

    3. 专利光斑可视技术,可观测任何样品表面

    4. 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

    5. 70度角入射

    6. CCD探测器

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    产品细节图片2

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