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88
重庆市青新净化科技有限公司
88
一年
40*80
国家药品监督管理局1999年8月1日发布实施
|
|||||||
■基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表
|
|||||||
个/M3≥ 0.5um
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ISO14644-1(1999)
|
US 209E (1992)
|
US 209D (1988)
|
EEC GGMP (1989)
|
FRANCE AFNOR(1981)
|
GERMANY VDI 2083(1990)
|
JAPAN JAOA(1989)
|
1
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
3.5
|
2
|
-
|
-
|
-
|
-
|
0
|
2
|
10
|
-
|
M1
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
35.3
|
3
|
M1.5
|
1
|
-
|
-
|
1
|
3
|
100
|
-
|
M2
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
353
|
4
|
M2.5
|
10
|
-
|
-
|
2
|
4
|
1,000
|
-
|
M3
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
3,530
|
5
|
M3.5
|
100
|
A+B
|
4,000
|
3
|
5
|
10,000
|
-
|
M4
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
35,300
|
6
|
M4.5
|
1,000
|
1,000
|
-
|
4
|
6
|
100,000
|
-
|
M5
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
353,000
|
7
|
M5.5
|
10,000
|
C
|
400,000
|
5
|
7
|
1,000,000
|
-
|
M6
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
3,530,000
|
8
|
M6.5
|
100,000
|
D
|
4,000,000
|
6
|
8
|
10,000,000
|
-
|
M7
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
■基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表
|
||||||
(N)
|
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)
|
|||||
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1um
|
5um
|
|
1
|
10
|
2
|
||||
2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
4
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
|
5
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
6
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
7
|
352000
|
83200
|
2930
|
|||
8
|
3520000
|
832000
|
29300
|
|||
9
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
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