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OLYMPUS LEXT OLS4100 3D测量激光显微

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  • 2025年07月16日
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    OLYMPUS LEXT OLS4100 3D测量激光显微镜

    品牌:奥林巴斯
    型号:OLS4100

    ■产品介绍

    奥林巴斯3D 测量激光显微镜广泛应用于不同行业的质量控制、研究和开发过程,它在激光显微领域树立了全新的标准。现在,为满足测量精度不断提高和测量范围日益扩大的需求,奥林巴斯推出了新型产品LEXT OLS4100。该产品不但可以让测量更加快速、简单,而且可以拍摄到更高画质的影像,大大突破了激光显微镜的界限。
    OLS4100采用非接触式、无损、快速成像测量。激光扫描显微镜(LSM)采用的是低功率激光,不接触样品。因此,不像基于探针系统的接触式表面粗糙度仪那样存在损坏样品的风险。LSM无需前期的样品准备即可对样品进行测量。而且,将样品放置在载物台上之后,即可直接开始成像。LSM 采用更大数值孔径的物镜,和更小波长的光波,极大地提高了平面分辨率。并且通过高精度的激光控制技术,获得更为精确的样品表面形貌。根据拍摄到的图像,LSM 可以进行非常精确的XY 平面亚微米测量。在X,Y方向上LEXT OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。LSM 采用短波长半导体激光和独有的双共焦光学系统,会删除未聚焦区域的信号,只将聚焦范围内的反射光检测为同一高度。同时结合高精度的光栅读取能力,可以生成高画质的影像,实现精确的3D测量。使得LEXT OLS4100 在Z方向上达到了10 nm的高度分辨率。


    ■应用

    LEXT OLS4100可用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D 表面形貌、
    2D 的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
    �精密部件:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件;
    �生命科学
    �电子元件:光掩膜,微透镜,柔性电路板接触点,MEMS等
    �半导体:晶圆凸起,导光板,芯片焊点,导光板激光点等
    �原材料/金属加工:电镀金刚石工具,碳精棒,极细管,胶带等
    �纸张:纸张、钱币表面三维形貌测量
    �LED行业

    ■技术参数

    光源:405nm半导体激光 白色LED
    检出系统:光电倍增管
    变焦:光学变焦:1~8X,数码变焦:1~8X
    分辨率:移动分辨率10nm,显示分辨率1nm
    物镜转换器:6孔电动物镜转换器
    物镜:100x,50x,20x,10x,5x等
    XY载物台:100×100 mm(电动载物台),可选: 300×300 mm(电动载物台)


    设备咨询联系人:
    Ronnie Chen +86-21-13651969369 +86-21-61533166 ronniechen@nanofocus.com.cn

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