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低能离子减薄仪(Low-energy Ion Milling

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    仪器介绍

    新一代SEM(扫描电镜)、TEM(透射电镜)、XTEM(剖面透射电镜)和FIB(聚焦离子束)样品制备设备!

    常规的离子减薄仪离子源能量较大,非常容易破坏样品的微观结构,而且很难看到材料真实的自然状态下的纳米结构;

    而该设备采用低能离子源,在有效避免样品的微观结构被损伤的基础上,大大提高了电镜图片的清晰度,进而可以更为清楚的将材料自然状态下的微观结构展现出来。

    技术参数

    离子能量连续可调:100~10000eV;
    离子电流连续可调:7~90uA;
    离子束减薄样品角度:0~45度;
    试样自动旋转或摆动角度:0~120度;

    主要特点

    低能离子源(超低能离子源);
    自动控制真空系统;
    真空Load-Lock试样装载系统;
    设计紧凑;
    全自动电脑程序控制减薄和抛光过程;

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