极紫外光源与光栅（UV）

德国Bruker公司是世界上第一家提供商用实验室极紫外光源的厂家。公司面向世界范围提供基于等离子体技术的极紫外光，远紫外光和X射线产品。

极紫外光（XUV）的波长在1纳米到50纳米之间，包括了通常所说的软X射线和远紫外光（EUV）。

特征：

• 安装简单，操作方便；
• 自成独立系统，可通过锆窗与应用真空系统隔离；
• 参数安全设定，符合CE标准；
• 可持久工作，维护费用低（只需电源和氙气）。

参数：

• 2 J / pulse electrical input
• > 0.4 mJ / sr / pulse EUV inband
• < 500 mm source diameter FWHM
• > 50 Hz Reprate
• Permanent operation 7 days / 24 h
• Guaranteed 100.000.000 pulses；
  Tested up to 230.000.000（> 1200 hours）
• Flexible head orientation

广泛用于：

• 纳米电子器件的实验室制作
• 纳米电子工业的光刻和工艺优化（如光刻胶优化）
• 作为比同步辐射更强烈的光源用于表面物理和表面化学分析研究

极紫外光源系统 极紫外曝光系统

透射光栅摄谱仪（TGS） 放于真空系统中的能量检测仪Mini-E-Mon