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- 2025年07月15日
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1
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AST聚昌科技
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非现货
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1
- 规格：
Psur-100VB
AST聚昌科技Psur-100VB磁控溅镀设备(Magnetic Enhanced Sputter)是针对各种金属化製程、扩散阻障层或反应式光学薄膜等应用所设计的批量式量产设备。
应用
AST聚昌科技Psur-100VB磁控溅镀设备(Magnetic Enhanced Sputter)是针对各种金属化製程、扩散阻障层或反应式光学薄膜等应用所设计的批量式量产设备。尤其在ⅢⅤ族半导体的生产过程中，溅镀薄膜沉积製程之运用，已占有愈来愈多且重要的地位。主要的应用可分为下列三大类：
(1) WTi/Au/Ti或Ti/Au
(2) TaN或TiWSiN
(3) ITO或SiO2，TiO2
特点
Psur-100VB为符合量产上的需求，採用Batch Type大型量产全自动化功能设计，可大幅降低人员需求与人为疏失可能造成的良率与品质的不稳定性，确保整体的有效产出，此外，模组化的设计、优异的镀膜均匀性及批量化的生产模式，可提高250%的产能，进一步减少使用者资本支出及设备佔用面积。Psur-100VB溅镀设备的特点包括：
(1) 高产出率（80 * ∮2”wafers）
(2) 高镀膜品质再现性与稳定性
(3) 优异的Batch to Batch镀膜均匀性（＜3%）
(4) 可搭配批量式全自动化软体控制功能
(5) 可扩充多样工业用方形靶材(Up to 4 Cathodes of Target)
(6) 可搭配DC-Pulse或RF溅镀模式
(7) 适用于各种不同基板，藉由以上功能，可提供使用者不同的製程量产需求之操作模式。
规格
| Wafer Numbers / Sizes |
(80 -10) pcs / (2"- 6") |
| Sputter Cathodes |
Up to 4 sets (Option) |
| Power Suppliers |
DC, Pulsed-DC or RF (Option) |
| Ultimate Pressure |
< 5E-7 Torr |
| Based Pressure |
5E-6 Torr within 30 mins |
| Pumping System |
Turbomolecular Pump + Rotary Pump or |
| Automatic Control System |
Industrial HMI with Graphic User Interface |
| Substrate Temperature Control |
RT ~ 350℃ |
| Non-Uniformity |
5% for WIW, WTW and RTR |
| Power Requirement |
AC220V, 3 phase, 60 Hz, 100A, |
| Dry N2 Requirement |
1.2 kgw/cm2 |
| CDA Requirement |
5 kgw/cm2 |
| Water Requirement |
1.5 kgw/cm2, 20。, 40 l/min |
| Dimension (WxDxH) |
1300 x 900 x 1800 (mm) |
| Weight |
700 kgw |
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文献和实验。预约之时段若遇机台突发状况或是其它紧急状况，本管理室将尽可能事先通知并有权协调调整时段。 3. 欲取消预约者，请于操作时间前一天亲自或电洽管理室取消预约。未于规定时间内取消预约者，则以停权仪器操作两个礼拜。 4. 于预约时段内迟到半小时以上，则该预约视同放弃，由其它使用者替补。 5. 预约使用者必须为本人到场，若有责任归属（如发生人为因素的机台重大损伤）视以该时段预约者之责任，若发现使用者未到场操作者以停权仪器操作两个礼拜。 6. 若是犯规三次者则以停权仪器操作一个月。 三、罚责
达到预先规定的试验条件，恢复试验，一直进行到完成预定的试验周期.本信息由[$page$] 根据专家指出：落下试验机是一款测试产品耐跌、耐摔性能的试验设备，根据试验要求、试件大小可分为单翼跌落试验机、双翼跌落试验机、零跌落试验机等等。下面由我们来为您简单介绍本试验机操作注意事项和操作规范，请阅览! 一、试验前确认事项：确认机台是否接上符合要求之电源。 二、操作步骤：打开电源开关，打开电源开关，机台跌落臂自动复位，机身自动下降到300mm。 把产品放到跌落臂的托盘中间，根据要求选择
受潮,就会影响正常的工作,超声波振动子受潮的话可以放进烘箱设定 100℃ 左右烘干 2 小时或者使用电吹风去潮至阻值正常为止。 2、在日常超声作来中一定要注意不能经常负荷的生产，同时很多超声波机台的发兰盘是正反 180 度旋转，不能 360 度旋转这样很容易把振动子线绕到一块。 3、超声波振动子脱胶,超声波振动子脱胶以后超声波电源输出的功率正常,但是由于振子与振动面连接不好,长时间工作的话会烧坏振子，超声波振动子脱胶一般要请专业超声波厂家进行维修或更换。
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