半导体参数测试仪

主要特点及优点

§ 直观的、点击式Windows®操作环境

§ 独特的远端前置放大器，将SMU的分辨率扩展至0.1fA

§ 新的脉冲和脉冲I-V能力用于先进半导体测试

§ 新的示波器卡提供集成的示波器和脉冲测量功能

§ 内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储

§ 独特的浏览器风格的软件界面，根据器件的类型来安排测试，可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能

§ 内置stress/measure、looping和数据分析用于点击式可靠性测试，包括五个符合JEDEC的范例测试

§ 支持多种LCR表、吉时利开关矩阵配置与吉时利3400系列和安捷伦81110脉冲发生器等多种外围设备

§ 包括驱动软件，支持Cascade Microtech Summit12K 系列、 Karl Suss PA-200和PA-300、micromanipulator 的8860 自动和手动探针台

§ 先进半导体支持包括吉时利提供的IC-CAP器件建模包驱动程序并支持Cadence BSIM ProPlus/Virtuoso 和Silvaco UTMOST器件建模工具

容易使用的4200-SCS型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机，Windows NT操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果。更多特性使stress-measure能力适合广泛的可靠性测试。

相关应用

§ 半导体器件

§ 片上参数测试

§ 晶圆级可靠性

§ 封装器件特性分析

§ C-V/I-V 特性分析，需选件4200-590高频C-V分析器

§ 高K栅电荷俘获

§ 受自加热效应影响的器件和材料的等温测试

§ Charge pumping用于MOSFET器件的界面态密度分析

§ 电阻性的或电容性的MEM驱动器特性分析

§ 光电子器件