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- FlexSEM 1000 II
- 2025年12月31日
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- 详细信息
- 文献和实验
- 技术资料
- 尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型*1电子显微镜，仍可实现4.0 nm的分辨率
- 凭借独特的高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器（UVD*2），可在低加速/低真空下观察时实现最高的画质
- 全新的用户界面，无论用户的熟练程度如何，都可实现高画质和高处理能力
- 全新的定位功能“SEM MAP”，支持观察时的视野搜索和样品定位
- 大直径（30毫米2）无氮EDS检测器，可快速进行元素分析*2
| 项目 | 内容 |
| 分辨率*3 | 4.0 nm（二次电子像、加速电压：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次电子像、加速电压：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射电子像、加速电压：20 kV、低真空模式） |
| 加速电压 | 0.3 kV～20 kV |
| 倍率 | ×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （显示器显示倍率） |
| 低真空设置 | 6～100 Pa |
| 电子枪 | 集中灯箱（Pre-Centered Cartridge Filament） |
| 样品台 | 3轴马达驱动样品台 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 最大可观察范围：直径64mm（R联用）*4 |
| 最大样品尺寸 | 直径80 mm（选配：直径153mm） |
| 最大样品高度 | 40 mm |
| 尺寸 | 机体：450（宽度）×640（进深）×690（高度） mm 电源盒：450（宽度）×640（进深）×450（高度） mm |
| 选项 |
|
| 软件 | Multi Zigzag（连续视野图像导入功能） |
*3机体和电源盒连接时候
*4使用标准支架时
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一、开机1、开启主机稳压电源和空气压缩机。2、打开冷却水龙头。3、打开电镜主机真空电源和STANDBY钮。待真空系统自动运行20分钟后，关闭STANDBY钮，仪器自动抽真空至指示灯由红变绿，真空表指示达到规定区域。4、打开电镜主机控制电源。二、样品安装1、关闭灯丝电流，关闭高压，推入镜筒V1阀，打开镜筒放气阀。2、待镜筒完全放气后拉出样品架，松开样品台固定锣丝，更换制备好的样品台，调节样品台倾斜角和工作距离，推入样品架。3、关闭镜筒放气阀，仪器自动抽真空至工作状态（数分钟）。三、扫描图像观察
出来的电子受到阳极很高的正电压的吸引，使电子得到很大的加速度而到达样品。电压越高，电子流速度越快，波长越短，其分辨能力也越强。一般用50—100kV电压时，电子波长在0．54—0．37nm，所以电子显微镜的分辨力极高，可达0．2nm左右，此分辨力比光学显微镜提高了近1000倍。 在电子流的通路上不能有游离的气体分子存在，否则由于气体分子与电子的碰撞而造成电子的偏转，导致物像散乱不清。因此，电子显微镜除需要高电压外，还需要高真空的装置。 电子显微镜的放大率是由透镜决定
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