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操作高效便捷
创新的“EM Wizard”界面更加直观,仅需要“点击”即可得到完美的图像。
超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。
高性能电子光学系统
二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*
高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能,低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
性能优异
压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*
开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
*1:
减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)
*2:
低真空功能(包含5分割半导体探测器)
*3:
空压机(本地采购)
创新的“EM Wizard”界面更加直观,仅需要“点击”即可得到完美的图像。
超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。
高性能电子光学系统
二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*
高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能,低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
性能优异
压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*
开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
| 项目 | 内容 | |
| 分辨率 | 1.2 nm @ 30 kV 3.0 nm @ 1 kV 2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2 |
|
| 放大倍率 | 10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) 30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素) |
|
| 电子光学系统 | 电子枪 | ZrO /W 肖特基式电子枪 |
| 加速电压 | 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进) | |
| 着陆电压 | 减速模式: 0.1 - 2.0 kV *1 | |
| 最大束流 | > 200 nA | |
| 探测器 | 低位二次电子探测器 | |
| 低真空模式*2 | 真空范围: 10 - 300 Pa | |
| 马达台 | 马达台控制 | 5 - 轴自动 (优中心) |
| 可动范围 | X:0~100mm Y:0~50mm Z:3~65mm T:-20~90° R:360° |
|
| 最大样品尺寸 | 最大直径: 200 mm 最大高度: 80 mm |
|
| 选配探测器 |
|
|
*1:
减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)
*2:
低真空功能(包含5分割半导体探测器)
*3:
空压机(本地采购)
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文献和实验相关实验
一、开机1、首先检查循环水系统,压力显示约4.5,温度显示约11~18度,为正常范围。2、检查不间断电源的“LINE”,“INV”指示灯亮,上部6只灯仅一只亮是为正常。3、开电镜电脑(白色机箱)的电源,通过密码进入WINDOWS后,先启动“SCS”,然后启动“Microscope Control”。二、操作过程1、有关样品的要求:需用电镜观测的样品,必须干燥,无挥发性,有导电性,能与样品台牢固粘结(块状试样的下底部需平整,利于粘结)。粉末样品用导电胶带粘结后,需敲击检查,或用吹风机吹去粘结不牢
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