真空泵的种类及其工作范围
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| 真空泵 | 工作范围(托) |
| 旋片真空泵 |
760~5×10-4 |
| 滑阀真空泵 |
760~5×10-3 |
| 油增压泵 | 10-1~10-4 |
| 罗茨真空泵 |
10-1~10-4 |
| 油扩散泵 |
10-3~5×10-7 |
| 水环真空泵 | 760~25 |
| 真空泵 | 工作范围(托) |
| 往复真空泵 |
760~10-2 |
| 吸附泵 |
760~10-4 |
| 溅射离子泵 |
10-4~10-10 |
| 钛升华泵 | 10-3~10-10 |
| 分子泵 | 10-3~10-10 |
| 低温泵 | 10-3~10-10 |
