扫描电子显微镜 scanning electron microscope
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具有对材料表面立体结构直接观功能的电子显微镜。使用透射型电子显微镜观察原材料表面的立体结构时，必须用间接的复制法，但扫描电子显微镜则是用电磁透镜使集中的电子射线细束在材料表面扫描，并将从材料表面产生的次级电子、反射电子等放大，而使这些量子强度变为辉度，在布劳恩管上成像。如与分析材料内元素产生的特征X射线的X线微量分析器一同使用，可以作为检验材料内特定元素和确定其分布的手段而被广泛应用。通常分辨能力为10—20毫微米，但改良后可达到0.5毫微米以下。
