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- 2025年07月15日
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上海卓伦微纳米设备有限公司
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套
扫描热显微术(SThM)是在原子力显微镜(AFM)基础上，利用对于材料的温度、热导率等的变化进行成像，从而获得样品表面热分布和相关热物理性质等信息的一种微纳米尺度的测试技术。现已在微电子器件、材料等领域得到了日益广泛的应用。
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文献和实验扫描隧道显微镜（scanning tunneling microscope，STM） 由Binnig等1981年发明，根据量子力学原理中的隧道效应而设计。当原子尺度的针尖在不到一个纳米的高度上扫描样品时，此处电子云重叠，外加一电压（2mV~2V），针尖与样品之间产生隧道效应而有电子逸出，形成隧道电流。电流强度和针尖与样品间的距离有函数关系，当探针沿物质表面按给定高度扫描时，因样品表面原子凹凸不平，使探针与物质表面间的距离不断发生改变，从而引起电流不断发生改变。将电流的这种改变图像
摘要：高空间分辨率和低的光损伤风险使得双光子激光扫描显微镜TPLSM成为生物功能成像的选择。但是，如神经钙离子调控等功能性动态研究通常也需要一个高的时间分辨率。目前，通过线扫描可以获取速度的提升，但是将结构的空间分辨率限制在一条轴上。为克服高空间分辨率和高时间分辨率间的空白，我们改进了TPLSM，使用一个多倍分光器来在样品中产生多个激光焦点。通过使用一个电子倍增相机检测这些焦点释放的荧光，它可以支持同时进行多条线扫描。除了多线扫描，高达64束的阵列也允许使用X-Y扫描模式去以高的帧速获取
扫描电子显微镜最基本的成像功能是二次电子成像。它主要反映样品表面的立体形貌。由于样品的高低参差、凹凸不平，电子束照射到样品上，不同点的作用角不同，因此造成激发的二次电子数不同；再由于入射方向的不同，二次电子向空间散射的角度和方向也不同，因此在样品凸出部分和面向检测器方向的二次电子就多些，而样品凹处和背向检测器方向的二次电子就少一些；总之，样品的高低、形状、位置、方向等这些与表面形貌密切相关的性质，变成了不同强度的二次电子信息。电子束逐点扫描产生不同数量的二次电子，依次在荧光屏上显示出亮暗不同
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