日立Hitachi SU8600超高分辨冷场发射扫描电镜

日立Hitachi SU8600超高分辨冷场发射扫描电镜

日立Hitachi SU8600是一款超高分辨率的冷场发射扫描电镜，具备0.6nm@15kV的高分辨率、智能化操作界面和多场景应用能力，广泛适用于材料科学、生物学等领域。它自动电子光学调节，自动化数据采集，具有更高的检测效率。

随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。

 

特点

超高分辨成像

日立的高亮度电子源可保证了即使在超低着陆电压下，也可获得超高分辨的图像。

 

1、先进的自动化功能

· 自动电子光学调节

· 自动化数据采集，更高的检测效率。

· 采用高精度的压电样品台，可提高导航、回溯及大范围连续成像的准确性。

2、兼具超高分辨率及分析扩展能力

· 搭载日立的新型高亮冷场发射电子源，即使在低加速电压下也可获得超高分辨的图像。

· 基于ExB的高效率信号采集系统.

· 多种新型电子探测器和丰富的选配项,满足更多的观测需求。

3、强大的显示及交互特性

· 原生支持双显示器,提供灵活、高效的操作空间。

· 6通道同时显示与保存,实现快速的多信号观测与采集。带来更多信息。

· 单次扫描最高支持40 Kx30 K的超高像素

 

0.8 kV电压条件下观察RHO型沸石的实例。左图为颗粒整体的形貌,右图为放大图像，颗粒表面细微的台阶结构清晰可见。低电压观察对于减少电子束损伤和获取表面形状信息较为有效。

 

高衬度的低加速电压背散射图像

3D NAND截面观察;
在低加速电压条件下，背散射电子信号能够明显的显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。

3D NAND截面观察（加速电压：1.5kV）

快速BSE图像：新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探测器，即使扫描时间不到1秒，也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像.

5纳米制程SRAM的内部结构观察 （加速电压：30kV，扫描时间<1秒）

 

先进的自动化功能*

EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。

 

 

灵活的用户界面

原生支持双显示器，提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集。

 

1,2,4 或6通道信号可在同一个显示器上同时显示，可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机。可以通过使用两个显示器来扩展工作空间，可定制的用户界面以提高工作效率。

 

规格

机型		SU8600 系列
电子光学系统	二次电子像分辨率	0.6 nm@15 kV
		0.7 nm@1 kV *
	放大倍率	20 to 2,000,000 x
	电子枪	冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳极烘烤系统。
	加速电压	0.5 to 30 kV
	着陆电压 *	0.01 to 20 kV
探测器	（部分为选配项）	上探测器(UD)
		UD ExB能量过滤器，包含SE/BSE信号混合功能
		下探测器(LD)
		顶探测器(TD)
		TD能量过滤器
		镜筒内背散射电子探测器(IMD)
		半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED)
		新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD)
		阴极荧光探测器(CLD)
		扫描透射探测器(STEM Detector)
附件	（部分为选配项）	导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD)
软件	（部分为选配项）	EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素）
样品台	马达驱动轴	5轴马达驱动（X/Y/R/Z/T）
	马达驱动轴	X：0~110 mm
		Y：0~110 mm
		Z：1.5~40 mm
		T：-5~70°
		R：360°
样品室	样品尺寸	最大直径：150 mm