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- 2026年04月25日
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- 详细信息
- 文献和实验
- 技术资料
- 库存：
1
- 国食药监械注册号：
N/A
- 保修期：
一年
- 现货状态：
有
- 供应商：
上海奥法美嘉科技有限公司
- 规格：
套
SemiChem 在线浓度监测仪
Entegris在设计和生产用于半导体制造工艺中 的化学机械平坦化（CMP）浆料和配方清洁化学品的高精度分析仪器的有丰富的经验。我们的技术旨在确保复杂混合化学品的精确一致性，并在 CMP和配方清洁工艺中实现高产量。
我们的 SemiChem Advanced Process Monitor （SemiChem 在线浓度监测仪）是集自动取样、分析和报告关键过程的定量化学浓度的化学监测系统。全面的在线化学监测可实时校正浆料成分，从而稳定控制工艺生产条件。该系统可提供分类化学浓度数据。当立即显现时，可以快速纠正可能对产品质量产生负面影响的变化，有助于满足更高产品产量的要求。
应用领域
在全球范围内，我们安装了近3000套SemiChem APM系统，用于控制金属 CMP 浓度。它是控制CMP过氧化物的可靠的中心工具，并被证明在微电子环境中的所有湿化学应用中都具有较好的性能，包括：
·铜，钨，阻挡层和金属CMP
·制定清洁
·DSP+
·湿法蚀刻，氮化物蚀刻
·平底蚀刻，食人鱼蚀刻
·高频
·废水
功能与特点
| 经验证的标准电化学技术 | 提供行业精确的监控，以保证过程化学成分和完整性 |
| 提供化学浓度数据，使浆料/化学分配系统能够提供准确的化学浓度 | |
| 在线的，接近实时检测的系统 | 检测挥发性化学物质的工艺偏差，防止产品质量损坏 |
| 将实验室技术过渡到在线，实现快速准确的在线控制 | |
| 坚固耐用的工业设计 | 维持至少8500小时平均工作时间 |
| 可经受严峻的工业环境 |
| 分析方法 | 电位测定法，标准加成法，光度测定法 |
| 电位测量的准确性* | 显示值的±0.2% |
| 标准添加的准确性* | 显示值的±2.0% |
| 电位测量精度* | ±0.2%相对误差 |
| 标准添加精度* | ±2.0%相对误差 |
| 测量时间 | >5分钟/次（取决于应用程序） |
| 校准间隔 | 启动时** |
| 样品消耗 | <5 mL/次 |
| 进样量 | 0.05-5 mL（取决于应用） |
| 进样温度 | 最高93°C（200°F） |
| 耗水量 | <1000 mL/分析 |
| 样品进样/排样 | <207 kPa（30 psi），0.5 L/min |
| 1/4" OD扩口接头，1" FPT安全壳联轴器 | |
| 去离子水 | 138至276 kPa（20至40 psi） |
| 2.0升/分钟 | |
| 外径 1/4" 扩口接头 | |
| CDA | 414-552 kPa（60-80 psi） |
| 1/4" 外径快速接头 | |
| 排水 | 工艺：3/4“NPT重力排水管 机柜：1/2“NPT重力 |
| 电源 | 110/220 VAC，50/60 Hz，1/0.5 A现场可切换 |
| 废气 | 外径1 7/8" @ 17 CFM |
| 标准功能 | 可选功能 |
| ·四个4-20 mA模拟输出 ·八个可编程继电器 ·以太网和RS232串行 ·彩色触摸屏 ·单个测量单元 ·综合试剂储存 ·单个采样点 ·一个5 mL数字滴定管 ·多传感器输入 |
·多个采样点 ·额外的5 mL数字滴定管 ·附加传感器 ·安全联锁装置 ·试剂微量检测 |
尺寸
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文献和实验中国工程院院士魏复盛等说： 从全国的环境监测数据来看，我国的环境污染恶化的趋势已得到基本控制，环境质量有所改善，但是污染仍处于相当高的水平。 面对这种严峻的环境污染和生态环境恶化的形势，对环境质量、生态环境现状及变化趋势进行实时、准确的大量监测，对污染源及其治理进行监督监测，是摆在全国环境保护工作者面前最艰巨的任务之一。因此迫切需要大量的现代化的环境监测仪器，特别需要优质的自动监测系统和污染源在线连续监测系统。 环境监测仪器的现状与问题 环境监测仪器主要包括以下几个
7、输 出 信 号 ： RS485 8、电 源 ： 220V±10% 50Hz 9、功 耗 ： 50W 工作原理 水份仪的工作原理是基于比耳―朗伯定律，即光线经过固体物料反射后的强度与固体物料中的水份浓度之间存在着一定的关系，水分子吸收的能量随着水份浓度含量的增加而增加，而从固体物料反射的光辐射能量则随着吸收的增加而减少。 水份仪可在化验室中测定固体物料的表面含水量（静态测量），也可用在车间在线测定固体
。4. 比色：选择 490 nm 波长，在酶联免疫监测仪上测定各孔光吸收值，记录结果。个人心得体会1. 细胞消化、接种数量：注意消化和数量，消化和数量，消化和数量（重要的事情说三遍）。从我个人的实验经验来看，这是重中之重。若消化出现问题，则会影响细胞的活性，进而影响 OD 值。对于 MDA-MB-231、MCF-7、HS-578T 等一系列容易消化的细胞，消化时胰蛋白酶中不添加 EDTA，消化时也仅需胰酶浸润数秒即可。然而，对于 SW480 等一系列难以消化的细胞，胰蛋白酶中需添加浓度为 0.25
