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- 2026年04月17日
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- 详细信息
- 文献和实验
- 技术资料
- 库存：
1
- 国食药监械注册号：
N/A
- 保修期：
一年
- 现货状态：
有
- 供应商：
上海奥法美嘉科技有限公司
- 规格：
套
SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪
SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪为工程师提供了准确性、可靠性和灵活性的过程监控，可以提高效率、保证晶圆制造的一致性，以满足更高的良率和容错的要求。在竞争激烈的微电子工业中，如果不使用复杂的监测和控制来确保晶圆制造的一致性，晶圆的制造成本将大大提高。
我们的SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪允许定量化学浓度。全在线化学监测能够实时校正溶液成分，从而稳定控制工艺条件、保持产品的一致性。
监控工艺过程中溶液的组分信息能够增加产品的产量。可能影响产品质量的变化在检测时会立即显现出来，并在产品质量受损之前迅速纠正。
产品选项
• 多个样本点
• 额外的5 mL数字滴定管
• 附加传感器
• 安全联锁装置
• 试剂低液位检测
优势
• 增加工具产量
• 降低化学品成本
• 实时过程监控
• 降低批量损失
• 降低所有者成本
应用
• 铜化学机械抛光
• 钨化学机械抛光
• 湿法蚀刻
• 清洁
• DSP+
• 氮化物蚀刻
• PAN蚀刻
• 食人鱼蚀刻
• HF
产品特点
• 4个4-20 mA 模拟输出
• 8个可编程继电器
• 以太网和 RS232 串口
• 彩色触摸屏
• 集成试剂储存
• 单采样点
• 1个5mL数显滴定管
• 多个传感器输入
规格
| 分析方法 | 电位法/标准加入法/光度法 |
| 精确度1 | ±0.2%显示值 |
| 误差度1 | 0.2%相对误差 |
| 测量时间 | 少于5分钟/分析(取决于应用) |
| 校准频率 | 自开始起2 |
| 样品消耗量 | 小于 5 mL/次 |
| 样品量 | 0.05 至 5 mL（取决于应用） |
| 样品温度 | 低于93℃(200℉) |
| 耗水量 | 少于1000mL/次 |
| 样品入口/返回 | 小于30 psi |
| 0.5升/分钟 | |
| 1/4”外径扩口接头 | |
| 1”FPT 密封联轴器 | |
| 去离子水 | 20-40 psi |
| 2升/分钟 | |
| 1/4”外径扩口接头 | |
| CDA | 60-80 psi |
| 1/4”外径快速接头 | |
| 过程排放 | 3/4”NPT 重力排放 |
| 机箱排水 | 1/2”NPT 重力排放 |
| 电源 | 110 /220 VAC，50 /60 Hz，1 /0.5A 现场可切换 |
| 排水 | 1 7 /8” OD @ 17 CFM |
| 外形尺寸 | 39.00”H x 27.00”W x 16.00”D |
1仅指“硬件”。应用、化学和工艺条件等外部因素会影响系统准确度和精密度。
2这不包括 pH 传感器的校准。有关详细信息，请参阅安装和操作手册。Entegris 相信此处包含的数据是真实的，所表达的意见是合格专家对所进行测试的结果的看法，这些数据不应被视为 Entegris 承担法律责任的保证或陈述。提供的数据仅供考虑、调查和验证。对这些数据和信息的任何使用都必须由用户决定，以符合联邦、州和当地的法律法规。所有规格如有更改，恕不另行通知。
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文献和实验l CAAM――2001系列多功能原子吸收光谱仪 一、仪器介绍: 由国内多名原子吸收行业的专家、教授、高工和清华大学著名教授的加盟，集他们多年研究和实践的经验于一体，研制生产的CAAM－2001系列多功能原子吸收光谱仪，是以火焰原子吸收分析法为主，兼有流动注射氢化物原子吸收法(内设原子化器控温系统和自动读数功能)、火焰发射法、可见/紫外溶液分子吸收法、流动注射在线富集法等多种功能，是目前国内外同类仪器中功能较多，综合性能极佳，采用技术特新的一款大型精密分析仪器。本型仪器可以基本
。 以统计学方法确定被测定值是否同于已知值的方法，被称为质量控制。质量控制是用客观的方法监测成批试验的检测质量，是对仪器试剂操作或仪器标定产生的漂移的及时观察，可确定该批检测结果能否发出，以避免成批测定标本产生明显误差的方法。但该法有其局限性，因它只能监测仪器检测中产生的误差，但从开医嘱，采标本，送标本，到写报告，发报告要经过很多环节，病人并不能发觉和避免这些环节的差错，所以要避免这些环节的差错，必须实行质量保证，即对标本检测的全过程进行质量管理，现简介如下： 一、医护人员的合作
处理工艺中除磷脱氮的能力。如果没有安装氧化还原电位计。那么鼓风机的运行只能通过时间控制，这样一来就会明显降低除磷脱氮的效果。 （3）曝气池污泥浓度控制。曝气池的污泥浓度是一个重要工艺参数。在传统的污水处理厂，污泥浓度依靠实验室使用旧的试验方法进行监测，在数据提供的及时性和精确性上，存在很大的缺陷。难以及时进行回流污泥和剩余污泥量的工艺调整，就造成时间上和准确度上的误差。南宁市琅东污水处理厂在每个曝气池上都安装了一个测量范围是为0.5～10g/L在线污泥浓度测量计，很好地解决了这个问题。安装
