日本尼康NIKON工业显微镜

日本尼康NIKON ECLIPSE LV100ND/LV100DA-U工业显微镜 

工业显微镜 LV100ND/LV100DA-U

新的光学系统令 ECLIPSE焕发新风采

ECLIPSE 显微镜机身采用模块化制造，可满足多领域的工业应用，其中包括半导体器件、封装、FPD、电子器件、材料和精密模具制造等。ECLIPSE LV 系列经过不断的发展完善并配备了新的光学系统和功能，可根据观察方法和目的 选择支架装置和照明装置以满足多种观察需求。用户可选择使用电动和手动操控模式以及反射照明专用模式和反射／透射组合照明模式以满足任何应用需求。 

CFI60-2 经过改进的光学性能 
以独特的高数值孔径和长工作距离设计理念而著称的尼康 CFI60 光学系统 
经过进一步改进，具有长工作距离、色差校正性能和更轻的重量。 

轻松的操作 
与数码相机集成 现可使用数码控制装置来检测包括物镜信息在内的显微镜信息，以及对显微镜进行电动操作，以更高效地进行观察和图像拍摄。

观察方法 
可支持多种观察方法：明场、暗场、偏光、微分干涉、落射荧光和双光束干涉测量观察功能。此外，LV100DA和LV100DA-U还可提供透射型微分干涉、暗场、偏光和相衬观察功能。

工业显微镜 LV150N/LV150NL/LV150NA
新的光学系统令 ECLIPSE焕发新风采 

ECLIPSE 显微镜机身采用模块化制造，可满足多领域的工业应用，其中包括半导体器件、封装、FPD、电子器件、材料和精密模具制造等。 
ECLIPSE LV 系列经过不断的发展完善并配备了新的光学系统和功能，可根据观察方法和目的 选择支架装置和照明装置以满足多种观察需求。 
用户可选择使用电动和手动操控模式以及反射照明专用模式和反射／透射组合照明模式以满足任何应用需求。
CFI60-2 经过改进的光学性能 
以独特的高数值孔径和长工作距离设计理念而著称的尼康 CFI60 光学系统
经过进一步改进，具有长工作距离、色差校正性能和更轻的重量。
轻松的操作 与数码相机集成
现可使用数码控制装置来检测包括物镜信息在内的显微镜信息，以及对显微镜进行电动操作，以更高效地进行观察和图像拍摄


观察方法
可支持多种观察方法：明场、暗场、偏光、微分干涉、落射荧光和双光束干涉测量等。






 倒置金相显微镜
ECLIPSE MA100

体形小、坚固耐用、操作简单、高性价比的产品。

有明视场和简易偏光两种观察方式，对金相组织、电子元器件和材料领域的生产现场以及质量控制部门来说使用相当方便。坚固紧凑的结构设计，操作简单，高对比度，可以接装照相、摄影装置，是一款反射照明专用的、经济实惠的小型倒立显微镜。
较重的物体也能稳定操作
新开发的载物台十分经久耐用!

MA-SR 型直柄操作载物台是一款专门为MA100显微镜开发的、非常耐用的载物台，它由三块平板叠装而成，即使是带着研磨件的研磨盘这样比较重的物件也能够直接放在载物台上，进行稳定的操作。
采用先进的CFI60光学系统
物体成象相当清晰!

尼康公司自主开发的CFI60光学系统，物镜齐焦距离为60mm，与其它光学系统相比具有很强的优势，它能够在确保高NA的情况下，成功保证长工作距离，便于操作，并实现高分辨率的观察。该显微镜一次至多可以同时安装5个物镜。
孔径光阑为标准配置

照明光路的孔径光阑属于标准配置。调节孔径光阑，可以改变分辨率、对比度、景深。观察者可以通过调节孔径光阑，获得自己想要看到的显微成象效果。
物镜确认反光镜为标准配置
有了它，物镜倍率一目了然!

使用标准配置的物镜确认反光镜，使您不必低头，就能够确认物镜以及样品的位置。这不仅使显微镜的操作变得比较舒适，而且还可以提高工作效率。
简易偏光观察
其偏振附件的插拔非常方便!

可以对高分子材料等样品进行有效的简易偏光观察（需要用到MA-PA简易偏光组件）。采用插拔连动机构，起偏器和检偏器可以非常方便地进出光路。起偏器可以360°旋转，方便您找到偏振方向，实现理想的偏光观察。
倒置金相显微镜
ECLIPSE MA200

为新一代产品，是EPIPHOT TME300/200型金相显微镜的后继机种，支持明场、暗场、微分干涉、荧光、简易偏光等观察方式，具有结构紧凑、操作方便、照明均匀、成象清晰、节能省电、坚固耐用等特点。
操作方便

经常需要操作的部位，都集中在靠近观察者的位置，即显微镜的前面。如：视场光阑、孔径光阑、起偏器、检偏器、检板插拔以及明暗场切换等。
结构紧凑、占地面积小、抗振、坚固耐用

箱形结构，坚固而耐用；与TME300相比，占地面积更小，可节约大约1/3的空间。
光学性能高、照明均匀、节能省电

采用尼康特有的CFI60光学系统，不仅可以得到对比度高的、清晰的明视场图象，还可以得到亮度为过去的3倍的暗视场图象；
新开发了1倍与40倍物镜；
目镜视场数达25mm，与新开发的1倍物镜相结合，直径25mm的样品也可以全部看一次性地全部看见；
照明均匀、成象清晰；
新开发的12V50W卤素灯照明，其照明亮度完全可以媲美过去的12V100W卤素灯照明，且电力可以节省一半。
显微摄影及图象处理
通过选装尼康的DS系列数码相机，可以进行显微摄影；
所拍摄到的显微图片可以通过两种途径进行观察及后续处理，分别为： 
1）DS-L2型独立显示控制器（图象数据可以保存到U盘），
DS-L2
2）DS-U2型电脑连接控制器，后者需要配合NIS Elements软件一起使用。 

DS-U2

利用NIS Elements软件中的功能，可以实现显微图象的无缝拼节；

利用NIS Elements软件中的功能，可以进行材料分析，如晶粒度分析、球墨铸铁的石墨球化率分析等。

研究用偏光显微镜LV100NPOL/ Ci-POL

最高等级光学品质、操控性与稳定性的偏光显微镜
 

 
特点介绍
偏光观察用物镜系列
 
CFI P Achromat 物镜（透过照明用，适用于带盖玻片的样品观察） 
尼康独有的CFI60 物镜具有长工作距离和高数值孔径，可获得锐利的无色差图像，实现高性价比。物镜使用不含铅、砷等有害物质的环保玻璃制作而成。
 
 
 
 
 
 
 
 
CFI TU Plan Fluor EPI P 物镜
（透过・反射照明用，适用于不带盖玻片的样品观察） 
新开发的CFI60-2 物镜系列，提升色收差补正，可以在任何倍率下获得锐利无色差的图像。 
 
 
 
 
 
 
 均匀的光量照明系LV100N POL  

 
 省电・高亮度卤素灯光源LV100N POL / Ci-POL反射照明装置
 
独自开发的卤素灯光源、通过优化灯丝、光学扩大光源面积等实现了高亮度化，其功率虽然只有50W，但照明亮度却比普通的100W卤素灯照明毫不逊色，甚至比它还要亮！特别是使用50×以上的物镜时，其亮度要比普通的100W卤素灯光源高出约20～40%。新光源的能耗低，发热也低，所以因照明装置发热而引起的热变形，也得到了有效的抑制。
 
 
高精度圆形旋转载物台

台面大、旋转方便； 
每隔 45°有一个定位装置； 
采用新型正交排列钢制滚柱导轨支撑，载物台加倍稳定，承载能力更强。

 

 

可调心的五孔物镜转换器

物镜转换器使用与LV100N POL相同的DIN标准补偿器插槽。因此可以使用各种补偿器用于高级的定量测量。五个物镜都可进行对中。 
 

 

 

一轴十字动装置 LV100N POL

装在LV100N POL用的旋转载物台上、一只手可移动样品、能进行高效操作。

 

 

中间镜筒

内置可调焦、可对中的勃特兰透镜，利用它可以观察并拍摄没有畸变的图象以及锥光干涉图象； 
带有可旋转的检偏器； 
带有尼康检板插槽，插在此处的检板可做360°旋转。 
 
 
 
 内置的一键拍照按钮Ci-POL

 内置的一键拍照按钮，位于机身底座的前部，与尼康DS相机配合可实现一键拍照。

 

 

 

规格

 

LSI检查显微镜

 超高的基本性能之外，更大大提升了观察性、操作性、耐久性

可以观察的最大硅片直径为200mm

观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）

   

        ECLIPSE L200N 反射照明专用           

     

   

     ECLIPSE L200ND 反射.透射照明专用

 

 

观察性能提升

 

 

扩大检查范围的反射荧光观察（L200ND）新

反射照明观察，除可进行明场、暗场、微分干涉观察之外，更可进行UV（365nm)激发的反射荧光观察。

对于半导体感光薄膜的残渣、有机EL显示面板的观察发挥了很大的威力。

使用物镜：CFI LU PLAN FLUOR 10X

       

 硅片的明场观察       暗场观察           微分干涉观察       反射荧光观察

反射荧光观察用的电动光纤光源[INTENSILIGHT](L200ND)

 光源采用了预定心电动光纤光源[INTENSILIGHT]。更换灯泡时不用进行灯丝调心和对焦。

灯箱可与主机分离设置，以降低光源发热对显微镜的影响。6段式的调光机能和快门机能，实现了良好的操作性。

约2000小时超长使用寿命的灯泡大幅降低了使用成本。

   

 操作性能提升、理环保

比12V100W更亮的高亮度12V50W卤素灯 新

采用了12V50W的[LV-LH50PC预定心灯箱]，与12V100W相比，耗电量削减了约一半，又可达到与其同等甚至更亮的亮度。

灯丝位置经过优化设计，且灯箱里有反光镜，使照明视场均匀，并提高照明效率。特别是用到50倍以的高倍物镜时，能得到比12V100W亮约20%的观察图象。

更环保，也能防止因热量而造成的焦面偏移的干扰。

 

抗污染的防静电涂层 新

主机、载物台、镜筒均涂有消静电涂层。为了提高抗污染能力，防止工件因静电感应而受损，从而提高成品率。

 

可调节到最佳位置进行观察的正立调倾式三目镜筒

视场数25的超大视场，可任意设定0～30°的观察角度。根据使用者体型和观察姿势的不同，可将三目镜筒调节到最佳位置松随意的进行观察。

   

 载物台微调手轮无需移动工件

不用移动工件，载物台微调手柄位置固定于显微镜主机操作部旁。

所有的操作部都尽在手边，移动载物台、对焦等显微操作，不用抬手，只需动动手腕就可轻松执行。

   

耐久性比以前高3倍的电动通用物镜转换器 新

最多可以安装到6个物镜。和偏心较小的物镜结合使用，用高倍物镜观察时切换倍率也很少会出现图象闪动现象。

从低倍到高倍的自由切换更稳定。考虑到使用者，在旋转物镜转换器时会自动切断照明光路，避免光直接照射使用者眼晴。

 

对焦目标

对焦目标可移入光路，这一特性对于裸硅片之类的低对比度工件的正确对焦成为方便。

   ▶  

 

显微镜操作部位集中于底座前部

操作手轮、按键等，都集中于底座前部，更便于使用。一看就能快捷高效的进行显微操作。大大减轻了长时间观察的疲劳感。

 

获取最佳图象，提升与显微镜用数码相机的联动力

 实现了从观察到图象拍摄、分析的最佳整体化

  ·尼康开发提供了便于使用的显微镜、数码相机和软件一体化的高机能设备系统。

  ·支持从设定最佳观察条件，到数码拍摄→处理→分析的整个流程。

 

用于LSI检查显微镜 ECLIPSE L200N

Wafer Loader NWL200系列    

 与ECLIPSE L200N相结合，对应硅片检查需要。
 运用独立的尼康高端技术，稳定传输超薄型100um硅片。                                        
              
   
           
 
 
 




FPD/LSI检查显微镜
ECLIPSE L300N 反射专用型
ECLIPSE L300ND 透反射两用型

 集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统，在亮度、对比度和可操作性能方面都达到高度，适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。

最大观察样品:Ø300 mm晶片
 
观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）；
 
使用CFI60光学系统，彻底消除耀斑影响，对比度更高，成象更加清晰、明亮；
物镜齐焦距为60mm，可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求；
主机刚性高，具有很好的抗振性能，具有防尘、防污染、防静电功能；
光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面，使用方便，即使长期操作也不易产生疲劳；
 
 
    
                 L300ND/反射.透射照明两用型
   

规格
	ECLIPSE L300N	ECLIPSE L300ND
	(落射照明型）	（透射/落射照明型）
主机	内置12V-50W卤素灯光源；内置用于电动控制器的电源
	用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯亮度控制、
	光圈叶片控制器
	物镜转换器：具备物镜转换器
	对中功能的电动通用六座物镜转换器
	—	反射/透射切换器
调焦 部分	对焦部:行程29mm
	粗调:12.7mm/转(可扭距调节.带重新对焦机能)
	微调:0.1mm/转(以um为单位)
反射 照明部	12V50W高亮度卤素灯照明装置
	孔径光阑（电动.可调心)、视场光阑（固定.带对焦目标)
	可插入小孔光阑滑块(OPTION)
	可插入∮25mm滤光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/检偏器
	观察方法：明场、暗场、简易偏光、微分干涉、反射荧光
	（仅用于L300N/L300ND/L200ND）
透射 照明部	—	12W50W高亮度卤素灯 照明装置
		内置孔径光阑
		内置LWD聚光器
接口	USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1
镜筒	L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒（视角0～30°）
	视场数25、光分光100：0/0：100
	L2-TT2A超大视场正立调倾式三目镜筒（俯角0～30°）
	视场数25、光分光100：0/20：80
	LV-T13正立三目镜筒
	视场数25、光分光100：0/0：100
目镜	CFI目镜
物镜	CFI60系列物镜
载物台	14x12载物台、行程354mmx302mm
	（透射观察范围：354mmx268mm）
	带粗/微动切换功能
	微动手轮位置固定
防静电 功能	从1000到10V放电时间在0.2秒以内
耗电	1.2A/90W
尺寸	约360(W)x581(H)x951(D)mm（倾斜角度为10°时）