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Phasics SID4波前传
感器法国PhasicsSID4系列波前传感器
随着光波波前探测技术的发展,各种应运而生,从测量原理上可以分成两类:一类是根据几何光学原理,测定波前几何象差或面形误差;另一类是基于干涉测量原理,探测波前不同部分的干涉性,来获取波前信息,主要有剪切干涉仪和相位获取传感器等。用于波前信息探测,光束质量评价,光学元件检测和大气通信及人眼像差测量等各个领域,也广泛地应用于自适应光学系统之中。
法国SID4系列
-----四波横向剪切干涉
产品介绍:法国PHASICS 的(上海瞬渺光电代理),基于其波前测量专利——四波横向剪切干涉技术(4-Wave Lateral Shearing Interferometry)。作为夏克-哈特曼技术的改进型,这种独特的专利技术将超高分辨率和超大动态范围完美结合在一起。任何应用下,其都能实现全面、简便、快速的测量。
主要应用领域:
产品特点:
型号参数:
型号 |
SID4 |
SID4-HR | SID4-DWIR | SID4-SWIR | SID4-NIR | SID4-UV |
孔径mm |
3.6 × 4.8 |
8.9 × 11.8 |
13.44 × 10.08 |
9.6 × 7.68 |
3.6 × 4.8 |
7.4 × 7.4 |
分辨率μm |
29.6 |
29.6 |
68 |
120 µ |
29.6 |
29.6 |
采样点 |
160 × 120 |
400 × 300 |
160 × 120 |
80 × 64 |
160 × 120 |
250 × 250 |
波长 |
400 -1100 nm |
400 - 1100 nm |
3 ~ 5 µm , 8 ~ 14 µm |
0.9 ~ 1.7 µm |
1.5 ~ 1.6 µm |
250 ~ 450 nm |
动态范围 |
> 100 µm |
> 500 µm |
N/A |
~ 100 µm |
> 100 µm |
> 200 µm |
精度 |
10 nm RMS |
15 nm RMS |
75 nm RMS |
10 nm RMS |
> 15 nm RMS |
20 nm RMS |
灵敏度 |
< 2 nm RMS |
< 2 nm RMS |
< 25 nm RMS |
<3/1nm RMS |
< 11 nm RMS |
2 nm RMS |
采样频率 |
> 60 fps |
> 10 fps |
> 50 fps |
25-60 fps |
60 fps |
30 fps |
处理频率 |
10 Hz |
3 Hz |
20 Hz |
> 10 Hz |
10 Hz |
> 2 Hz |
尺寸mm |
54 × 46 × 75.3 |
54 × 46 × 79 |
85 × 116 × 179 |
50 × 50 × 90 |
44 × 33 × 57.5 |
53 × 63 × 83 |
重量 |
250 g |
250 g |
1.6 kg |
300 g |
250 g |
450 g |
四波横向剪切干涉(上海瞬渺光电代理):当待测波前经过时,光波通过特制光栅(图1)后得到一个与其自身有一定横向位移的复制光束,此复制光波与待测光波发生干涉,形成横向剪切干涉,两者重合部位出现干涉条纹(图2)。被测波前可能为平面波或者汇聚波,对于平面横向剪切干涉,为被测波前在其自身平面内发生微小位移发生微小位移产生一个复制光波;而对于汇聚横向剪切干涉,复制光波由汇聚波绕其曲率中心转动产生。干涉条纹中包含有原始波前的差分信息,通过特定的分析和定量计算梳理(反傅里叶变换)可以再现原始波前(图3)。
图1.特制光栅 图2.几何光学描述波前畸变
图3. 波前相位重构示意图
应用方向:
2光学测量
可对光学系统和元器件进行透射和反射式测量,专业Kaleo软件可分析PSF,MTF等
光学测量 透射式和反射式测量 |
3.光学整形:
利用检测到精确的波前畸变信息,反馈给波前校正系统以补偿待测波前的畸变,从而得到目标波前相位分布和光束形状。右图上为把一束RMS=1.48λ的会聚光矫正为RMS=0.02λ的准平面波;右图下为把分散焦点光斑矫正为准高斯光束。高频率大气湍流自适应需要配合高频。
4.光学表面测量:
的SID4软件可以直接测量PtV, RMS, WFE和曲率半径等,可直接进行自我校准,两次测量相位作差等。非常方便应用于平面球面等形貌测量。部分测量光路如右图所示
5.等离子体测量
法国公司SID4系列等离子体分析仪(Plasma Diagnosis)是一款便携式、高灵敏度、高精度的等离子体分析仪器。该产品可实时检测产生的等离子体的电子密度、模式及传播方式。监测等离子体的产生、扩散过程,以及等离子体的品质因数。更好地为客户在喷嘴设计、脉冲的照度、气压、均匀性等方面提供最优化的数据支持。
附:夏克哈特曼和四波横向剪切干涉对比表
|
剪切干涉 |
夏克哈特曼 |
区别 |
技术 |
四波侧向剪切干涉 |
夏克-哈特曼 |
PHASICS SID4是对夏克-哈特曼技术的改进,投放市场时,已经申请技术专利,全球售出超过500个探测器。 |
重建方式 |
傅里叶变换 |
分区方法(直接数值积分)或模式法(多项式拟合) |
夏克-哈特曼波前探测器,以微透镜单元区域的平均值来近似。对于大孔径的透镜单元,可能会增加信号误差,在某些情况,产生严重影响。在分区方法中,边界条件很重要。 |
光强度 |
由于采用傅里叶变换方法,测量对强度变化不敏感 |
由于需要测量焦点位置,测量对强度变化灵敏 |
关于测量精度,波前测量不依赖于光强度水平 |
使用、对准方便 |
界面直观,利用针孔进行对准 |
安装困难,需要精密的调节台 |
SID4 产品使用方便 |
取样(测量点) |
SID4-HR达300*400测量点 |
128*128测量点(微透镜阵列) |
SID4-HR具有很高的分辨率。这使得测量结果更可靠,也更稳定 |
数值孔径 |
SID4 HR NA:0.5 |
0.1 |
SID4-HR动态范围更高 |
空间分辨率 |
29.6μm |
>100μm |
SID4-HR空间分辨率更好 |
灵敏度 |
2nmRMS |
约λ/100 |
SID4-HR具有更好的灵敏度 |
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