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DaLI高分辨无掩膜纳米光刻机
ProtoLaser LDI是一款多功能,高精度,桌面型无掩膜激光直写光刻设备,用于在光致抗蚀基材上成像,无需掩膜,比传统光刻工艺形成的图像精度更高。工作幅面达100×100mm。最细通道宽度1μm。 ProtoLaser LDI是微流体通道设计和制作的理想工具。无掩膜激光直写光刻设备LPKF ProtoLaser LDI采用UV紫外激光技术,直接读取设计数据,激光直接在感光层上形成精细结构。无需昂贵的曝光设备,也无需外加工昂贵的掩膜。这一工艺可加工多种平整的基材表面,无特殊环境条件要求(推荐使用黄灯)。只需将样品放入标准或客户定制的承载装置,然后直接推入ProtoLaser设备中即可。该工艺为非接触式,因此不涉及工具损耗,设备多年不需要维护,几乎没有运行成本。这使得该设备对于创新性设计测试方面,是一款非常完美、耐用的工具。LPKF ProtoLaser LDI很大程度上提高了创新实现的可能性。LDI的优点:快稳准,功能强大易操作通过声光偏转器将100kHz光束定位,使激光极速直写成为可能,只需花费几分钟即可制作一款典型的微流体通道。自动检测功能可以弥补基材面或感光层不平的问题。ProtoLaser LDI 支持DXF文件,并且可以对CAD文件进行修改。多种嵌入功能使微流体通道设计非常简单和高效。可选择不同激光刀具和算法,来优化直写速度得到精细结构。所有的准备工作都可以通过可视化软件进行控制。
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