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- Picosun
- 芬兰
- PICOSUN™R系列
- 2025年07月16日
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- 详细信息
- 文献和实验
- 技术资料
- 供应商：
Picosun
- 现货状态：
定制
型号：PICOSUN™P300B、P300S、P300F、P300BV
产地：芬兰
品牌：PICOSUN
原子层沉积技术PICOSUN™ALD-P系列介绍：
PICOSUN™ P-300型原子层沉积系统是一款批量生产型设备，用于加工IC器件，例如：微处理器、存储器、硬盘等；也可加工功率电子器件、混合信号器件、以及打印读头、传感器、麦克风等各种MEMS器件。
PICOSUN™ P-300系统已经成为高产能ALD制造业的新标准。拥有专利的热壁、完全独立的前驱体管路和特殊的载气设计，确保我们可以生产出具有优异的成品率、低颗粒水平和卓越的电学和光学性能的高质量ALD薄膜。高效紧凑的设计使得维护更加方便、快捷，最大限度的减少了系统的维护停工期和使用成本。拥有专利技术的Picoflow™使得在超高深宽比结构上沉积保形性薄膜更高效，并已在生产线上得到验证。
| PICOSUN™P系列不同型号介绍 | |
| PICOSUN™P300BV | PICOSUN™ P-300BV系统代表了最尖端的工业 化ALD工艺水平。这个系统是为半自动化的批 量生产而设计。设备本身针对快速批量生产 进行了优化，并允许通过SECS/GEM整合到自 动化生产线上。拥有加热选项的真空加载系 统可以对敏感的基底进行洁净加工并沉积金 属氮化物薄膜。 |
| PICOSUN™P300S | PICOSUN™ P-300S系统代表了最尖端的工业化 ALD工艺。这个系统是为全自动的批量生产而设 计，并与工业标准化的真空集群平台相结合进行 单片操作。P-300S系统通过SEMI S2/S8认证，可 以通过SECS/GEM整合到自动化生产线上，并能 满足半导体行业最严格的清洁要求。 |
| PICOSUN™P300F | PICOSUN™ P-300F系统代表了最尖端的工业 化ALD工艺。这个系统是为全自动的批量生产 而设计，并与工业标准化的单片晶圆真空集 群平台相结合。P-300F系统通过SEMI S2/S8 认证，可以通过SECS/GEM整合到自动化生产 线上。 |
原子层沉积技术PICOSUN™ALD-P系列 技术参数（以P300B为例）：
| 衬底尺寸和类型 | • 200mm晶圆 25片/批次（标准间距） • 150mm 晶圆 50片/批次（标准间距） • 100mm 晶圆 75片/批次（标准间距） • 非标准晶圆类基底（使用定制夹具） • 高深宽比基底（最大深宽比1:2500） |
| 工艺温度 | • 50 – 500°C |
| 前驱体 | • 液态，固态，气态，臭氧源 • 源瓶余量传感器，提供清洗和装源服务 • 4根独立的源管线，最多加载8个前驱体源 |
| 标准工艺 | • 批量生产的平均工艺时间小于10秒/循环* • Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2,AlN, TiN以及各种金属 • 同一批次薄膜不均匀性<1% 1σ (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49pts, 5mm EE)** |
| 基片加载 | • 气动升降，手动装载 • 线性半自动装载 |
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文献和实验色谱柱是色谱仪的分离系统。试样中各组分的分离在色谱 柱中进行，因此，色 谱柱是色谱仪的核心部分。色谱往 主要有两类：填充柱和毛细管柱，现分别叙述如下: 1．填充柱 填充柱由柱管和固定相组成，柱管材料为不锈钢或玻璃， 内径为2―4毫米，长为1―3米。往内装有固定相，固定相 又包括固体固定相和液体固定相两种。 2．毛细管往 毛细管柱又叫空心柱，空心柱分涂壁空心柱，多孔层空 心柱和涂载体空心柱
2、毛细管往 :毛细管柱又叫空心柱，空心柱分涂壁空心柱，多孔层空心柱和涂载体空心柱。涂壁空心柱是将固定液均匀地涂在内径0.1―0.5毫米的毛钢管内壁而成。毛细管的材料可以是不锈钢、玻璃或石英。这种色谱柱具有渗透性好、传质阻力小等特点，因此柱子可以做得很长(一般几十米，最长可到三百米)。和填充柱相比，其分离效率高，分析速度快,样品用量小。其缺点是样品负荷量小，因此经常需要采用分流技术。柱的制备方法也比较复杂；多孔层空心柱是在毛细管内壁适当沉积上一层多孔性物质，然后涂上固定液。这种柱容量比较大，渗透
应用进行介绍。 量子点的性质及水溶性： 量子点作为一种全新的分子标记工具具有无与伦比的优点。可溶性的胶体量子点只有几个纳米大小（2-6nm左右），其尺寸甚至小于玻尔半径，能级量子化，从而使其产生与尺寸大小相关的各种性质（量子尺寸效应）。 所谓量子尺寸效应是指：大块材料的能带可以看成是连续的，而介于原子和大块材料之间的纳米材料的能带将分裂为分立的能级。能级间的间距随颗粒尺寸减小而增大。当热能、电场能、或者磁场能比平均的能级间距还小时就会呈现出一系列与宏观物体截然不同的反常特性，称之为量子效应
