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- 2025年07月15日
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大量
特点：
>测量范围广：5 X 10 -7～1 Pa
>全金属冷阴极陶瓷传感器
>新型几何电极提供了极好的点火性能
>降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样
>阳极环和钛阴极可清洗，更换容易
>最小磁场强度测量
>LED指示灯电源和等离子点火
>对数模拟输出信号
>Fieldbus总线接口,集成到真空系统的网络通信
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文献和实验进油孔。加油完毕，应旋上螺塞，推荐采用石化行业92年新标准矿物油型真空泵油SH0528-92。如果性能要求允许稍低亦可采用运动粘度稍低的牌号，如Vg22、Vg46等。 2.泵可在通大气或任何真空度下一次起动。 3.环境温度较高时，油的温度升高，粘度下降，饱和蒸汽压增大，会引起极限真空略有所下降，特别是用热偶计测得的全压强，加强通风散热可改善泵性能。 4.检查泵的极限真空，以压缩式水银真空计为准，如真空计惊充分预抽校验，泵温达到稳定，泵口与真空计直接接通，运转30分钟内将达到极限真空
。1. 2. 3 仪表控制台：是冻干机的温度和真空度的记录控制仪表以及各组的开关的集中装置，控制台的正面装有温度，真空度记录仪，干燥箱和真空泵的真空计，温度指示调节计。1. 2. 4 制冷系统：采用氟制冷压缩制冷机组，以F22为制冷剂，经过压速冷凝，节流、蒸发循环达到制冷的目的。本机共有三台制冷机组，一台制冷机组专供干燥箱降温用，可使隔板温度降低达-30℃～-40℃以下，另两台制冷机组为独立的制冷循环系统，供冷凝器降温用，可使冷凝器的温度达到-45℃～-60℃。1. 2. 5 真空系统：由两台真空泵和一台罗茨泵
.3 仪表控制台：是冻干机的温度和真空度的记录控制仪表以及各组的开关的集中装置，控制台的正面装有温度，真空度记录仪，干燥箱和真空泵的真空计，温度指示调节计。1.2.4 制冷系统：采用氟制冷压缩制冷机组，以F22 为制冷剂，经过压速冷凝，节流、蒸发循环达到制冷的目的。本机共有三台制冷机组，一台制冷机组专供干燥箱降温用，可使隔板温度降低达-30℃～-40℃以下，另两台制冷机组为独立的制冷循环系统，供冷凝器降温用，可使冷凝器的温度达到-45℃～-60℃。1.2.5 真空系统：由两台真空泵和一台罗茨泵以真空
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