伯东pfeiffer氦质谱检漏仪VC单体检漏

伯东代理德国 Pfeiffer 多用途氦质谱检漏仪 ASM 340 应用于某电子股份公司VC单体检漏.
上海伯东客户是世界IT产业500强之一，分公司及营业处遍及美国、日本、欧洲、苏格兰、新加坡等地，全球员工近 90000人。企业是全球最大的电源供应器制造商，市场占有率达25%以上。VC 单体是客户内部叫法，它广泛应用于工业自动化设备，如 PLC、变频器、伺服器等。
需要检漏原因：VC 单体内部中空，出厂前需要保证最小漏率E-8 mbarl/s，否则会影响正常使用。
由于产能巨大，客户在采购伯东氦质谱检漏仪 ASM 340 之前就已经有 2 台 Ulvac 检漏仪在用，分别是 Heliot 700 和 Heliot 710.客户反映 Ulvac 检漏仪保养频率较高，检漏仪启动时间和抽气时间较长，平均每检测一个产品花费的时间大约 8min，而采用 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 仅需不到 3min。
检漏方法：VC 单体采用检漏仪的真空检漏方法，检测整体漏率，因为产品没有抽真空的标准接口，所以定制了一个夹具，一头接氦质谱检漏仪，一头接VC 单体，具体做法如下：
1.启动氦质谱检漏仪 ASM 340，装上夹具
2.将 VC 单体插入夹具，并用真空封泥封堵
3.按下氦质谱检漏仪的 start，开始抽真空
4.在 VC 单体周围喷氦气，以 E-8 mbarl/s 为合格线

ASM 340 氦质谱检漏仪由德国 Pfeiffer 独家设计和制造，其配备的 Pfeiffer 分子泵广泛应用于友厂，如英福康 Inficon UL1000 检漏仪、爱发科 Ulvac Heliot 检漏仪、布鲁克 Bruke 医疗设备、岛津 Shimadzu 分析仪器等。
新款氦质谱检漏仪 ASM 340 特点：
1. 前级泵 Adixen Pascal 2015SD 抽速 15 m3/h
2. 分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦抽速 2.5 l/s
3. 检漏精度：
真空模式：5E-13 Pa m3/s
吸枪模式：5E-10 Pa m3/s
4. 移动式操作面板（有线、无线）
5. 集成SD卡，方便资料处理
6. 抗破大气、抗震动，降低由操作失误带来的风险性
7..丰富的可选配件，如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

Pfeiffer 还有干式检漏仪，如配置 Pfeiffer 隔膜泵 MVP 015 的 ASM 340D 检漏仪 ，在半导体行业普遍使用的配置 Adixen ACP 28 干泵和小推车的 ASM 380 检漏仪等。而工作台式检漏仪 ASM 1002 提供可选腔体让诸如电子元件这样的小产品得以快速方便的检漏。

Pfeiffer 检漏仪有广泛的应用，如科研杜瓦瓶检漏、工业镀膜机检漏、电厂检漏、消防器材检漏、半导体 PECVD MOCVD 检漏等。详细的应用案例请登录 www.hakuto-vacuum.cn 查看。

上海伯东提供生产与检测配套方案，如给某磁控溅射企业配置了美国考夫曼公司 KRI 离子枪辅助镀膜和 ASM 340 腔体检漏；给某热管企业配置了 ASM 340 检漏仪和保压罐、真空测试罐等。

上海伯东主营产品：德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵，干式真空泵，罗茨真空泵，旋片真空泵；应用于各种真空环境下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源，美国 HVA 真空阀门，Polycold 冷冻机，离子刻蚀机等。

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