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- 2025年07月09日
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NanoFocus μscan custom三维激光扫描轮廓仪
品牌：德国NanoFocus型号：μscan custom
产品介绍
μscan系列机台采用模块化设计，特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化。主要应用于材料表面的三维轮廓测量，粗糙度测量，宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品，而不用通过拼接。
μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用，如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。
CF4激光共聚焦传感器内，被照亮的小孔成像在被测量的表面，激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上，只有当焦平面和真实表面的点配对的时候，探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动，使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术，该系统的精度能达到10nm以下。
应用
ü 集成电路封装和表面贴装：快速获得封装翘曲变形、引线共面性、粗糙度、焊料的体积、引线轮廓。
ü 厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量
ü 精密部件：测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓、粗糙度等
技术参数
1. 测量原理：非接触，激光共聚焦
2. 扫描模块：
2.1 XY方向测量范围50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm（可选）,马达驱动
2.2 XY方向平台分辨率0.5um
2.3 Z方向位移范围100mm
2.4 最大测量速度50mm/S.
3. 传感器模块
3.1 共聚焦传感器，激光光源1.5 µm spot size，1 kHz data rate
3.2 Z方向分辨率0,02um
3.3 XY方向分辨率1um，可连续一次扫描成像，最大范围达到200mmX200mm
3.4 工作距离 4mm
3.5 Z方向测量范围1mm
4 系统配置
4.1 计算机：高性能计算机控制系统；
4.2 配有专业工作台， 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm)
4.3 可为CF传感器选配离轴摄像头(10X)，最大视野8 x 6 mm²
4.4 功能全面的软件
4.5 数据分析：轮廓测量、宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析
设备咨询联系人:
Ronnie Chen +86-13651969369 +86-21-61533166
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文献和实验校准；计算机调节孔径大小；自动Z轴调节（最小0.1μm）。光学探测系统：3个测窗式PMT采集荧光；1个CCD系统；12位的高速A/D转换器。 图像分辨率：图像大小1535×1535；像素最小距离：0.1μm；灰度为4096级。 扫描方式：快速镜扫描Dual Scan台阶扫描；扫描精度0.1μm；扫描面积最大为10cm×8cm ；扫描平面：XY和XZ和独特点、线、面扫描。 2.2激光扫描共聚焦显微镜软件系统 ACAS ULTIMa 312系统采用独特设计的软件将激光细胞仪与先进的计算
系列的三维重构(forreview see: Halbhuber and K¨onig, 2003; Helmchen and Denk, 2002; Wrightand Wright, 2002; Zipfel et al., 2003).激光扫描显微镜的更高的空间分辨率事实上取决于受到样品内激光焦点限制的信号检测（共聚焦显微镜）或激发本身（TPLSM）。 但是，成像速率是激光显微镜中的一个问题：例如，当激光沿着一个轴重复扫描时，只有在线扫描中，获取率通常可以上升到每秒几百个样品
Lavision双光子共聚焦显微镜应用案例：毛囊再生过程活体成像
的初始区域并观察同一个毛囊。实验过程中通过鼻尖吸入气化异氟醚保持麻醉状态。 三维双光子激光切蚀。使用同样的光学设备进行激光切蚀。使用900nm的激光束扫描一个10μm2的区域，以25%的激光能量持续1秒钟即可获得切蚀。根据目标深度(30–80 μm)调整切蚀参数。 主要结果 Figure 1 | 新的一次生长开始，细胞分化是在毛囊中进行空间调控的。a,静止状态毛囊。参与毛发再生的不同细胞群，包括干细胞，progeny和间充质，存在于定义的毛囊解剖隔层中。 b, 来源于双光子激光扫描
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