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- 2025年07月15日
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- 详细信息
- 文献和实验
- 技术资料
- 库存：
1000
- 供应商：
北京飞凯曼
- 现货状态：
有
- 保修期：
1年
- 规格：
Smart
磁控溅射是通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率的方法。磁控溅射阴极是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar 和新的电子；新电子飞向基片，Ar 在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。
本公司提供圆形平面磁控阴极解决方案。
产品功能和特点：
靶材寿命周期内自动恒定阴极辉光状态
采用溅射电压/电流闭环反馈
兼容Versa系列磁路设计
专利技术保护
技术参数：
阴极规格：2/3/4英寸
靶材尺寸：Ø50/75/100*6 mm
溅射气压：0.1-10Pa
溅射电压：200-1000V
溅射电源：DC/Pulsed DC/MF/HIPIMS/RF可选
功率密度：Max ~10 W/cm2
真空漏率：Helium Leak check <10-10 mbar l/s
水温要求：～20-50 ºC
水流要求：Min. 1-1.5 L/KW. Min
安装方式：内安装/外安装
气路选项：卡套1/8接头
闭环控制：溅射电压闭环反馈/可提供Windows界面软件设置
详细信息请咨询我们。
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文献和实验(1)打开灯电源开关后，应慢慢将电流调至规定值，聚然将灯电流升至规定值会使阴极表面发生喷射，影响灯的使用寿命，严重时还会使阴极遭道到破坏。 (2)空心阴极灯如长期搁置不用，将会因漏气、气体吸附等原因而不能正常使用，甚至不能点燃。所以，每隔3―4个月，应将不常用的灯通电点燃2―3小时，以保持灯的性能并延长其使用寿命。 (3)空心阴极灯使用一段时间以后会衰者，致使发光不稳，强度减弱，噪声增大和灵敏度下降。在这种情况下可用激活器加以激活
变淡 灯内有杂质气体 将灯在0-20mA电流下反放电3-30min。如无效，可在80-150mA电流下反放电 阴极外侧和后部发光 屏蔽管与阴极距离过大或有杂质气体 在10-20mA电流下反放电哟半小时 屏蔽管外面发光
1. 异常现象：阴极辉光变(充氖灯由橙红-粉红-白光)，充氢灯由淡紫变白。使发射线减弱，可能同时有背景发射。 原因：灯内有杂质气体； 解决办法：将灯在10-20mA电流下反向放电几分钟到半小时，如无效，再在80-150mA下反向放电，激活吸气剂。 2. 异常现象：屏蔽管发光。使发射减弱不稳定。 原因：溅射的金屑针状结晶或片状脱落，使阴极与屏蔽管接通。 解决办法：振动灯壳，使接通处断开。 3. 异常现象：阳极光闪动。 原因：阳极表面放电不均匀； 解决
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