台湾森积科技有限公司RTA快速退火炉  电弧炉  晶体生长炉

台湾森积科技有限公司RTA快速退火炉 电弧炉 晶体生长炉 热处理炉 热压炉

抽屜式 RTA - R-401 2"4"單片

• 加熱區：四區加熱設計，共 150X150 ㎜
• 溫度: 1區, 最高操作溫度1000℃
• 均溫區： 0 1100 ㎜ ±3℃
• 適用晶片: 破片~4" Wafer
• 外觀尺寸: 500 x 500 x H1060 mm
• 升溫速率：1℃~100℃/ 秒 UP
• 模組化加熱體：加熱元件隔熱材料採用冷壁式設計
• 隔熱：採用氣體與冷卻水雙重冷卻
• 熱電偶：k- type 合金測溫線
• 進口數位可程式溫度控制器：一組 16 段 or 30 組 300 段
• 電力需求：220V / 100A / 1 0 1 1 025000W

抽屜式RT

台湾森积科技有限公司 R-8160 2" x 16片 or 8" 單片

• 加熱區：6 區設計，250X250 ㎜
• 均溫區： 0 1200 ㎜ ±3℃
• 適用晶片: 2"x16pc or 8"x1pc Wafer
• 最高操作溫度：1000℃
• 升溫速率：1℃~100℃/ 秒 UP
• 模組化加熱體：加熱元件隔熱材料採用冷壁式設計
• 隔熱：採用氣體與冷卻水雙重冷卻
• 熱電偶：k- type 合金測溫線
• 進口數位可程式溫度控制器：一組 16 段 or 30 組 300 段
• 電力需求：220V / 100A / 1 0 1 1 025000W

台湾森积科技有限公司r : 2Tube RTA

• 類型：近紅外線高溫型
• 溫度範圍：室溫~1,200?(最大)
• 最大加熱速率：50度C/s 真空中
• 溫度均溫區： ±2℃ at 1200度C 真空中
• 加熱氣氛：大氣中、真空中、不活性氣體
• 試料區尺寸：20mm x 20mm x 2.0tmm (最大)
• 溫度控制器感測器：JIS熱電偶 K固定
• Lamp型式：1kW-4-100V
• 程式模組：溫度對時間設定、Stmp數256、Progrm數32(最大)、PID+fuzzy 控制、自動微調、USB通信機能、自動/手動操作等多數機能
• 外觀尺寸：約260W x 169H x 355D