半导体湿电子化学品输送泵-高纯化学品计量泵

       BM系列连续流风囊泵（气动风囊泵-电动风囊泵）主要用于：高纯电子化学品输送，半导体光刻工序的光刻胶涂覆，锂离子电池等电池制造工序的电解液注液，既可以高精度低脉冲连续流定量输送物料，也可以单次定量吐出输送物料。

      电动风囊泵（Bellows Pump）也称电动波纹管泵，依靠波纹管往复伸缩调节容积大小来完成吸液和出液，实现高精度的化学分配。电动风囊泵与介质接触的材料为PFA、PTFE,流路不含金属材料，同时无需轴封的设计可以防止液体泄露和外部气体进入。因此，电动风囊泵常被用于半导体湿法制程中腐蚀性化学品和非腐蚀性液体物料的转运、循环和输送，如：光刻胶、纯水和其他药液。

三为风囊泵系列产品包括：

单风囊泵：用于液体物料的单次和多次定量吐出

双风囊泵：用于液体物料的连续不间断定量吐出

电动风囊泵产品用途：

• 半导体光刻工序的光刻胶涂覆

• 锂离子电池等电池制造工序的电解液注液

• 其他液体化学品或液体物料的定量吐出

电动风囊泵特点：

• 接液部由氟树脂构成，适用于各种药液；

• 接液部无滑动结构，几乎不因泵的动作产生粒子；

• 丝杠传动，实现数字化的±1%精度吐出量控制；

• 无外部气体进入，不易产生电解液结晶化结构；

• 可实现高精度低脉冲连续流流体输送

• 在线压力监控，通过压力设定实现超压保护

电动风囊泵产品参数：