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四(二甲基酰胺基)铪(IV),19782-68-4,包装用于

沉积系统,阿拉丁
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  • 上海
  • T475961
  • 2025年11月09日
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    • 英文名

      Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

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    • 供应商

      上海阿拉丁生化科技股份有限公司

    • CAS号

      19782-68-4

    • 规格

      T475961-25g

    铪烷基酰胺是制备平滑非晶氧化铪薄膜的一种简便有效的原子层沉积前驱体。


    应用

    用作氧化铪纳米层压板的原子层沉积的前体,其用作半导体器件中的氧化硅的替换物。为沉积系统包装的前体['为沉积系统包装的前体

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