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主营各类真空镀膜微纳加工设备,包括薄膜沉积、刻蚀及清洗去胶设备等,ALD,PECVD,RIE,磁控溅射,热蒸镀,电子束,离子束,热真空试验,晶圆清洗机,PA-MOCVD。涉及应用领域:医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药,为此类领域的客户的半导体、光电设备等提供技术支持。 [详细介绍]
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