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OLS5500凭借高清晰成像能力可识别细微特征和表面变化—采用 LSM、WLI 和 FVM 检测缺陷、确认设计,做出可信决策。 |
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左图: 使用传统镜头边缘区域失真会增大,从而影响测量精度。 右图: 使用 LEXT 镜头可以无失真地再现边缘区域,实现高精度测量。 |
精准测量每一种表面无论测量倾斜角度大的样品、反射表面还是复杂结构,我们自主研发的物镜能够保持整个视场的清晰度和形状保真度。 |
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激光显微镜物镜专用 LEXT 物镜能够精准测量边缘区域,克服了传统物镜面临的测量挑战。 |
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白光干涉物镜高数值孔径白光干涉(WLI) 物镜(最高可达 0.8 NA)即使在陡峭或纹理表面上,也能产生清晰的干涉条纹和卓越的相位稳定性。 |
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采用传统 WLI 20X 物镜(左图,NA 0.4)和 Evident 20X WLI 物镜(右图,NA 0.6)拍摄的菲涅尔透镜样品对比图像。 |
采用传统 WLI 50X 物镜(左图,NA 0.55)和 Evident 50X WLI 物镜(右图,NA 0.8)拍摄的菲涅尔透镜样品对比图像。 |
采用传统 WLI 50X 物镜(左图,NA 0.55)和 Evident 50X WLI 物镜(右图,NA 0.8)拍摄的校准样品对比图像。 |
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揭示不可见细节的清晰度捕捉传统系统无法显示的关键特征,提高验证速度。 从微小结构和细微表面形貌,到透明表面和低对比度特征,OLS5500 提供多种对比度增强选择,显示隐藏或细微的细节。
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聚合物薄膜的对比图像。 左图: 未采用 DIC 的激光图像。 右图: 采用 DIC 的激光图像。 |
硬盘启停区的对比图像。 左图: 未采用 DIC 的彩色图像 右图: 采用 DIC 的彩色图像。 |
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晶圆的拼接图像对比。 左图: 未采用智能阴影校正。 右图: 采用智能阴影校正。 |
大面积无缝成像检查更大区域—同时保持细节和图像完整性。 智能阴影校正可最大限度地减少伪影,并优化拼接图像的光照分布,即使在低对比度或不均匀的表面上也能确保无缝效果。 这种全域范围的清晰度确保了分析结果的一致性。 |
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