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H20-UVL 真空紫外光谱仪
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H20-UVL真空紫外单色仪在真空环境下覆盖100-400nm(3-12.4eV),在大气环境下覆盖190nm-400nm(3-6.5eV)。结合真空紫外光源和蜗轮驱动实现快速精确的光谱扫描,可作为一个优异的真空紫外单色光源使用。在分辨率要求不高的情况下,配备单通道探测器,H20-UVL还是一个高性价比的真空紫外光谱分析系统。 技术特点
单片式光学结构确保光通量最大化,高光学稳定性
配备4型消像差单色仪光栅,全光谱范围线色散均匀
全自动蜗轮高速驱动光栅
光栅表面镀氟化镁膜,优化120nm以上波长的输出
透射反射测量
荧光激发
可调滤波/光源
激光谐波滤波
光学设计
HJY专利的4型消像差单色仪光栅
焦长
200 mm
孔径
f/4.2
刻线密度
1200 gr/mm
光学镀膜
针对121nm优化的MgF2膜
偏转角
64°
色散
100nm处3.6 nm/mm
驱动
高速蜗轮驱动
最小步进
0.06 nm
速度
400 nm/s
精度
+/- 0.2 nm或+/-0.06 nm (*)
可重复性
+/-0.06 nm
分辨率
优于0.5 nm (**)
高真空
10-5 mbar (***)
真空泵法兰
DN40 KF
入射/出射接口
测微狭缝(10 um 至 2 mm)
入射/出射法兰
DN25 KF
电脑接口
USB2.0
可选项
超高真空
10-9 mbar
狭缝高度调节器
2, 4, 6 mm
(*)使用我们固件中的软件驱动矫正可以提高单色仪的精度
(**)使用宽10微米,高2mm的狭缝在121nm处测量
(***)H20-UVL不含真空泵和真空计
附件
前镜腔,配备两块超环面镜,实现光源和单色仪之间的光学匹配
后镜腔,配备两块超环面镜,实现单色仪和样品室之间的光学匹配
样品室,可搭载4块直径不大于25mm的样品
偏振插片
制冷机,最低至4K
真空泵
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2020.12.10-2025.12.31
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