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TGS300超环面光栅摄谱仪专为研究分析真空紫外光谱而开发设计。TGS300可在像面形成二维平场，配合阵列探测器实现真空紫外光谱范围内的一次性全谱采集。安装XY平台上的标准DN100CF法兰接口，可以方便地调整和优化阵列探测器的中心波长和聚焦特性。
技术特点
单片式光学结构确保光通量最大化，高光学稳定性。
HJY专利的超环面光栅技术，全光谱范围内优异的消像差能力。
超长的40mm光谱长度，横向滑动CCD测量更宽的光谱，纵向滑动CCD优化成像质量。
光谱覆盖最低至10nm，10-30nm具有超高分辨率。
支持超高真空度10-9mbar，可接入同步辐射装置。
典型应用
极紫外和紫外等离子体光谱分析
紫外光源表征
激光高次谐波研究
EUV光源表征
技术指标
| 三块标准光栅可选 | |
| 2105 gr/mm | 光谱范围: 9.5 – 32 nm 中心波长: 12nm |
| 450 gr/mm | 光谱范围: 10 – 110 nm 中心波长: 15nm |
| 290 gr/mm | 光谱范围: 15.5 – 170 nm 中心波长 : 35nm |
| 光学设计 | HJY专利超环面消像差光栅 |
| 焦长 | 300 mm |
| 孔径 | f/20 |
| 分辨率 | 低至0.04nm (*) |
| 波长驱动 | 固定 |
| 高真空 | 10-6 mbar |
| 真空泵法兰 | DN40 KF |
| Slits | 嵌入式 |
| 阵列探测器法兰 | DN100CF |
| 可选项： | |
| 狭缝 | 手控或自动 |
| 多光栅切换装置 | 光栅滑块可装载3块光栅，真空中灵活切换 |
| 超高真空 | 配合DN63CF真空泵法兰可达10-9 mbar超高真空 |
| (*) 使用2105线/mm光栅和10μm狭缝在波长20nm处测量。 | |
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上海市天山西路1068号联强国际广场Ａ栋１层Ｄ单元
实验室仪器 / 设备
生产厂商
2020.12.28-2021.01.31
2020.12.28-2021.01.31
2020.12.10-2025.12.31
