Thyracont真空计在薄膜沉积行业应用

Thyracont开发制造智能真空测量和控制仪器，以对精度的热情，为客户提供真空应用服务，多种制造工艺。我们的真空产品在大型应用领域也能提供服务。应用包括，例如过程工业，涂层，分析和研发以及半导体和太阳能。

主要应用行业

l 镀膜设备

l 旋转蒸发器

l 真空泵QA

l 冻结干燥器

l 光谱仪

l 实验室工作站

l 真空隔离

l 真空包装

l 泄漏测试

    电子束行业

 

Thryacont提供高精度的皮拉尼压阻复合真空计、皮拉尼热阴极、皮拉尼冷阴极复合真空计，薄膜规，精度高，满足PVD镀膜（溅射镀膜）的高精度真空度检测。

 

l 皮拉尼/热阴极：VSH 1000到5x10~10mbar

l 皮拉尼/冷阴极：VSM 1000到5x10~9mbar

l 压阻/皮拉尼：VSR 1200到1x 10~4mbar

l 皮拉尼：VSP1000到1x10~mbar

l 压阻规：VSC43 1400到1mbar Piezo

l 电容规：VCC200 200到1x 10mbar

 

真空表优势：

• 具有16bar的超压稳定性，无需超压阀，节约成本

• 响应速度快，精度高

• 防护等级最高可达IP54

• 法兰处耐温度，高达160摄氏度

• 输出信号:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet满足不同的控制系统连接

 

 

 

薄膜规VCC200

测量原理	电容式薄膜规，和气体类型无关
测量范围	200 - 0.1 mbar (150 - 0.1 Torr)
最大超压	6 bar abs
精度：	满量程0.25% (线性度、迟滞、重复性)
接触真空的材料	不锈钢 1.4305，Al₂O₃ 陶瓷，FKM
时间	< 120ms (10 ... 90%)
电气接口	M12 A型圆形编码，5针，公头，可锁定
输出信号	4 - 20 mA, linear
接口	小法兰 DN16 ISO KF 带 G1/4 内螺纹

 

薄膜规 VSC43

测量原理	压阻式，与气体类型无关
测量范围	1400 - 1 mbar (1050 - 1 Torr)
最大超压	4 bar 绝对压力
精度：	满量程的 0.3% (线性度、迟滞、重复性)
接触真空的材料	不锈钢 1.4305，Al₂O₃ 陶瓷，FKM
反应时间	< 20 ms
电气接口	l M12 A型圆形编码，5针，公头，可锁定 l 赫斯曼（Hirschmann）型，6针，公头，可锁定
输出信号（线性）	l 4 - 20 mA l 0 – 10 v
接口	小法兰 DN16 ISO KF 带 G1/4 内螺纹